ターボ分子ポンプ

半導体・FPD製造プロセスを代表として、幅広い分野に応用されています。

タイプ別ラインナップ

  • ケーブル・ラック不要
  • コンパクト
  • 省エネルギー

見積もり依頼

  • 更にコンパクト
  • 温調機能追加
  • IP54対応
  • 省エネルギー

見積もり依頼

  • ネットワーク接続対応
  • 各種モニタ機能
    (電源部)
  • カップリングフリー
  • 豊富なラインナップ

見積もり依頼

  • 磁気軸受とセラミック軸受による低振動、高寿命を実現
  • 高背圧、高い水素圧縮比
  • 省電力
  • 全方位取付可能

TMP-B300見積もり依頼

TMP-B70見積もり依頼

  • ケーブル・ラック不要
  • コンパクト
  • 省エネルギー

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  • 更にコンパクト
  • 温調機能追加
  • IP54対応
  • 省エネルギー

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  • ネットワーク接続対応
  • 各種モニタ機能
    (電源部)
  • カップリングフリー
  • 豊富なラインナップ

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  • 磁気軸受とセラミック軸受による低振動、高寿命を実現
  • 高背圧、高い水素圧縮比
  • 省電力
  • 全方位取付可能

TMP-B300見積もり依頼

TMP-B70見積もり依頼

型番別ラインナップ

複合軸受型ターボ分子ポンプ

磁気軸受型ターボ分子ポンプ

アプリケーション別ラインナップ

フランジ口径(mm) ≦100 150 200 250 300 350 400
アプリケーション タイプ
CVD、
エッチング
大容量
ケミカルタイプ
   

 

2404
LMF

2804
LMF

3304
LMF

3804
LMF

4304
LMTF

X4304
LMF

4805​
LMF

5305
LMF

エッチング

反応生成物対応
タイプ
 

803
LMTC

1303
LMTC

2404
LMTC

2804
LMTF

3304
LMC

3804
LMTF

X3405
LMTF

4304
LMTF

X4306
LMTF

4805
​LMTF

5305
LMTF

イオン注入、
CVD、
エッチング
広域水冷
ケミカルタイプ

203
LMC

303
LMC

403
LMC

803
LMC

1003
LMC

1303
LMC

V1704
LMC

1503
LMC

2404
LMC

2804
LMC

V2304
LMC

3304
LMC

3804
LMC

V3304
LMC

X3405
LMC

4304
LMC

X4304
LMC

4805
LMC

5305
LMC

PVD、
検査装置
空冷タイプ

203M

303M

403M

803M

1003M

       
広域水冷タイプ

203
LM

303
LM

403
LM

803
LM

X1205
LM

 

1003
LM

1303
LM

X1605
LM

1503
LM

V2304
LM

X1605
LM

3304
LM

V3304
LM

X3405
LM

   
省エネルギー、
排気システム

高背圧
ケミカルタイプ

      W2404
LMC
  W3503
LMC
 
超高真空排気 高圧縮比タイプ

B70

B300

 

1103
LMP

   

H3153
LMC

 

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