半導体・FPD製造プロセスを代表として、幅広い分野に応用されています。
タイプ別ラインナップ
磁気軸受型ターボ分子ポンプ
電源別置き型
- ネットワーク接続対応
- 各種モニタ機能
（電源部） - カップリングフリー
- 豊富なラインナップ
複合軸受型ターボ分子ポンプ
電源一体型
- 磁気軸受とセラミック軸受による低振動、高寿命を実現
- 高背圧、高い水素圧縮比
- 省電力
- 全方位取付可能
磁気軸受型ターボ分子ポンプ
電源別置き型
- ネットワーク接続対応
- 各種モニタ機能
（電源部） - カップリングフリー
- 豊富なラインナップ
複合軸受型ターボ分子ポンプ
電源一体型
- 磁気軸受とセラミック軸受による低振動、高寿命を実現
- 高背圧、高い水素圧縮比
- 省電力
- 全方位取付可能
型番別ラインナップ
複合軸受型ターボ分子ポンプ
磁気軸受型ターボ分子ポンプ
アプリケーション別ラインナップ
| フランジ口径（mm） | ≦100 | 150 | 200 | 250 | 300 | 350 | 400 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| アプリケーション | タイプ | |||||||
| CVD、 エッチング |
大容量 ケミカルタイプ |
|
X4304 |
|||||
|
エッチング |
反応生成物対応 タイプ |
|||||||
| イオン注入、 CVD、 エッチング |
広域水冷 ケミカルタイプ |
X4304 |
||||||
| PVD、 検査装置 |
空冷タイプ | |||||||
| 広域水冷タイプ |
|
|||||||
| 省エネルギー、 排気システム |
高背圧 |
W2404 LMC |
W3503 LMC |
|||||
| 超高真空排気 | 高圧縮比タイプ |
H3153 |
||||||