磁気軸受型ターボ分子ポンプ　電源一体型TMP-X3405

標準仕様

ターボ分子ポンプ TMP-X3405LMC TMP-X3405LMTC
吸気口側フランジ VG300 / ISO320B / VG350
排気口側フランジ KF40
冷却方法 水冷
到達圧力 （ベーキング後） 10-7 Pa オーダ
Arの最大許容流量 1300 mL/min※1 ※2 800 mL/min（設定温度：65 ℃）※1 ※4
N2連続運転時の最大吸気口圧力 40 Pa
N2連続運転時の最大排気口圧力 270 Pa
排気速度※3 N2 3400 L/s
Ar 3300 L/s
H2 2300 L/s
圧縮比 N2 2×108​
H2 1×103
規定回転数 27600 rpm
起動時間 12分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
振動 ［弊社測定方法による］ 0.05 μm以下（片振幅）
温度制御の設定温度 - 65 ℃, 75 ℃※5
推奨ガスパージ流量※1 30 mL/min 30 ～ 100 mL/min
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 2000 L/min以上
許容周囲温度 10 ～ 40 ℃
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
冷却水 流量 3 L/min以上
水圧 0.2 ～ 0.4 MPa
水温 19 ～ 30 ℃（露点以上）
表示 ランプ POWER / ROTATION / ALARM POWER / ROTATION / TEMP.CONTROL / ALARM
外部制御 接点入出力 REMOTE（D-sub 25ピン メスコネクタ、固定金具UNC 4-40）
入力：START / STOP / RESET / LOW SPEED
出力：ROTATION/ NORMAL / ACCELERATION / BRAKE / REMOTE / ALARM / WARNING 出力：ROTATION/ NORMAL / ACCELERATION / BRAKE / REMOTE / TEMP.STABLE / ALARM / WARNING
シリアルインターフェース RS-232C / RS-485（2線式）
回転数可変 ポンプ規定回転数の25 % ～ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。 （設定は0.1 %単位）
入力電源 電圧 単相AC 200 ～ 240 V（50 / 60 Hz）
所要電力 1.7 kVA 2.1 kVA
質量 89 kg
  • ※1:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。（SCCM表記と等価です。）
  • ※2:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
  • ※3:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は3000 L/sとなります。
  • ※4:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「ポンプの設定温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
  • ※5:温度センサのモニタ値を使い、ポンプ部温調用バルブによる冷却水をONにする温度です。なお、ヒータは設定温度－1 ℃でON／OFFします。

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