磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型

主要モデル

TMP-X05シリーズ

特長:

  • コンパクト
    従来電源一体型TMP-V3304と比較して、高さ寸法を約15%低減
  • 省エネルギー
    従来電源別置き型との比較で約15%削減(無負荷時)
  • 各種通信ネットワーク対応およびローカル操作対応
    温度調整機能を備え、モータ駆動出力を向上させることで
    反応生成物を伴うプロセスや腐食性ガスを使用するプロセスでも使用可能。

排気性能の向上

希薄気体流解析および構造解析技術の応用により、高効率排気を実現。さらなる排気性能の向上を達成しました。

ネットワーク接続対応

RS-232C及びRS-485準拠のシリアル通信ポートを装備し、TMPの起動/停止のほか、運転状況の監視、運転履歴の読み出しが可能です。
オプションのモニタソフトウェアにより、RS-485通信では最大32台までのTMPを一台のコンピューターで監視できます。
Profibus通信オプション品も選択可能です。

シリーズ別ラインナップ