磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型

主要モデル

TMP-X4306

特長:

  • 内部高温下化による生成物耐性向上
    ポンプ内部温度を高温に維持することで装置のダウンタイム改善を再現
  • 反応生成物対応
    反応生成物に対しロータ表面処理、ポンプ温度調節等のポンプ保護対応も万全
  • 各種通信ネットワーク対応およびローカル操作対応
    RS232C及びPR-485準拠のシリアル通信サポートを装備
    また、本体に操作パネルを装備し、メンテナンス時にその場で操作確認が可能

TMP-X05シリーズ

特長:

  • コンパクト
    従来電源一体型TMP-V3304と比較して、高さ寸法を約15%低減
  • 省エネルギー
    従来電源別置き型との比較で約15%削減(無負荷時)
  • 各種通信ネットワーク対応およびローカル操作対応
    温度調整機能を備え、モータ駆動出力を向上させることで
    反応生成物を伴うプロセスや腐食性ガスを使用するプロセスでも使用可能。

排気性能の向上

希薄気体流解析および構造解析技術の応用により、高効率排気を実現。さらなる排気性能の向上を達成しました。

ネットワーク接続対応

RS-232C及びRS-485準拠のシリアル通信ポートを装備し、TMPの起動/停止のほか、運転状況の監視、運転履歴の読み出しが可能です。
オプションのモニタソフトウェアにより、RS-485通信では最大32台までのTMPを一台のコンピューターで監視できます。
Profibus通信オプション品も選択可能です。

シリーズ別ラインナップ

 TMP-V04
シリーズ
TMP-X05
シリーズ
TMP-X06
シリーズ
電源一体型

TMP-V2304

TMP-V1704

TMP-V2804

TMP-V3304(0)

TMP-X1205

TMP-X1605

TMP-X2905

TMP-X3405

TMP-X3806

TMP-X4306