磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源別置き型TMP-5305

ポンプ本体標準仕様

ターボ分子ポンプ TMP-5305LMC TMP-5305LMTC
吸気口側フランジ VG400 / ISO400B
排気口側フランジ KF63
冷却方法 水冷
到達圧力(ベーキング後) 10-7 Paオーダ
Arの最大許容流量 2250 mL/min※1 ※2 1000 mL/min(設定温度:65 ℃)※1 ※4
連続運転時の最大吸気口圧力 15 Pa
連続運転時の最大排気口圧力 270 Pa
排気速度※3 N2 5300 L/s
Ar 5100 L/s
H2 3200 L/s
圧縮比 N2 3×108
H2 2×103
規定回転数 20580 rpm
起動時間 12分
取り付け方向 垂直方向のみ
振動[弊社測定方法による] 0.01 μm以下(片振幅)
推奨ガスパージ流量※1 30 ~ 100 mL/min
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 10000 L/min以上
設定温度 65 ℃, 75 ℃※5
許容周囲温度 0 ~ 40 ℃ 10 ~ 40 ℃
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
冷却水 流量 4 ~ 6 L/min
水圧 0.2 ~ 0.4 MPa
水温 5 ~ 25 ℃ 20 ~ 30 ℃
質量 160 kg
  • ※1:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。(SCCM表記と等価です。)
  • ※2:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
  • ※3:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は4950 L/sとなります。
  • ※4:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「ポンプの設定温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
  • ※5:温度センサのモニタ値を使い、冷却水による冷却をONにする温度です。なお、ヒータは設定温度-1 ℃でON/OFFします。

電源装置標準仕様

電源装置 EI-A05M EI-A05MT
バッテリ 不要
ポンプ温調の設定温度 65 ℃, 75 ℃
組合わせ互換性 ポンプ、電源装置、磁気軸受ケーブル、モータケーブルの組合わせ互換性あり ポンプ、電源装置、磁気軸受ケーブル、モータケーブル、温調ケーブルの組合わせ互換性あり
回転数可変 規定回転数の25 % ~ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。
(設定は0.1 %単位)
外部制御 接点入出力 REMOTE(MR-34)
入力:START / STOP / RESET / LOW SPEED
出力:ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING 出力:ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING / TEMP.STABLE
シリアルインターフェース フロントパネル:RS-232C(D-sub 9ピンオス、固定金具M2.6)
リアパネル:RS-485(D-sub 9ピンオス、固定金具M2.6)(2線式)
オプション:EtherCAT
許容周囲条件 温度 動作時0 ~ 45 ℃(ただし結露しないこと)
湿度 40 ~ 80 %RH
入力電源 電圧 単相 AC 200 ~ 240 V(50 / 60 Hz)
所要電力 2.4 kVA 3.3 kVA
質量 9 kg

反応生成物対応型(温度調節機能付き)もご用意できます。詳細についてはお問合せください。

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