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PRODUCT 真空機器/FPD製造装置
 
ターボ分子ポンプ
  大流量型(大流量排気シリーズ)
TMP-1303 TMP-1503 TMP-2203 TMP-2804 TMP-3304 TMP-3804 TMP-4304 TMP-4805 TMP-5305
TMP-5305 シリーズ
ポンプ本体標準仕様
ターボ分子ポンプ型式 TMP-5305LMC TMP-5305LMF
吸気口フランジ VG400 / ISO400B
排気口フランジ KF63
冷却方法 水冷
Arガスの最大流量 2250 SCCM 4000 SCCM(注1)
連続運転時の最大吸気口圧力 15 Pa
連続運転時の最大排気口圧力 270 Pa
排気速度
N2
H2
5300 L/s
3200 L/s
起動時間 12分
取付方向 垂直方向のみ
振動(当社測定方法による) 0.01 μm 以下 (片振幅)
推奨ガスパージ流量 30 〜 100 mL/min
推奨補助ポンプの排気速度 10000 L/min以上
許容磁束密度
半径方向
軸方向
3 mT
15 mT
冷却水
流量 
水圧 
水温 
4 〜 6 L/min
0.2 〜 0.4 MPa
5 〜 25
質量 160 kg
(注1) TMP-5305LMF、冷却水温度20℃時。
電源装置標準仕様
電源装置
温調非対応型:EI-A05M/温調対応型:EI-A05MT
外部制御 接点入出力
START / STOP / RESET / LOW SPEED / ALARM / NORMAL 他
シリアルインターフェース
RS-232C / RS-485
オプション:EtherCAT
許容周囲条件 温度
0 〜 45℃
湿度
40 〜 80 %RH
入力電源 電圧
単相 AC 200 〜 240 V ± 10 %(50 / 60 Hz ± 2 Hz)
所要電力
温調非対応型:2.4kVA/温調対応型:3.3kVA
質量
9 kg
※反応生成物対応型(温度調節機能付き)もご用意できます。詳細についてはお問合せください。
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