磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型TMP-X1205

標準仕様

ターボ分子ポンプ※1 TMP-X1205LM
吸気口側フランジ VG150 ISO160B
排気口側フランジ KF40
到達圧力 (ベーキング後) 10-7 Pa オーダ
Arの最大許容流量※2 ※3 850 mL/min
N2運転時の最大吸気口圧力 28 Pa
N2運転時の最大排気口圧力 266 Pa
排気速度 ※4 N2 1080 L/s 950 L/s
Ar 1020 L/s 890 L/s
H2 710 L/s 680 L/s
圧縮比 N2 2×108
H2 8×102
規定回転数 37200 rpm
起動時間 8分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
振動[弊社測定方法による] 0.01 μm以下(片振幅)
推奨ガスパージ流量※2 30 mL/min
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 600 L/min以上
許容周囲温度 10 ~ 40 ℃
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
冷却水 流量 3 L/min以上
水圧 0.2~0.5 MPa
水温 19 ~ 30 ℃(露点以上)
表示 ランプ POWER / NORMAL / ALARM
外部制御 接点入出力 REMOTE(D-sub 25ピン メスコネクタ、固定金具UNC 4-40)
入力:START / STOP / RESET / LOW SPEED
出力:ROTATION / NORMAL / ACCELERATION / BRAKE / REMOTE / ALARM / WARNING
シリアルインターフェース RS-232C / RS-485(2線式)
回転数可変 ポンプ規定回転数の25 % ~ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。 (設定は0.1 %単位)
入力電源 電圧 単相AC 200 ~ 240 V(50 / 60 Hz)
所要電力 0.75 kVA
質量 43 kg
  • ※1:生成物によりポンプが故障する可能性が有りますので腐食性ガスを流さないでください。
  • ※2:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。(SCCM表記と等価です。)
  • ※3:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
  • ※4:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は、VG150:1020 L/s,ISO160B:900 L/sとなります。

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