標準仕様
| ターボ分子ポンプ※1 | TMP-X1205LM | ||
|---|---|---|---|
| 吸気口側フランジ | VG150 | ISO160B | |
| 排気口側フランジ | KF40 | ||
| 到達圧力 （ベーキング後） | 10-7 Pa オーダ | ||
| Arの最大許容流量※2 ※3 | 850 mL/min | ||
| N2運転時の最大吸気口圧力 | 28 Pa | ||
| N2運転時の最大排気口圧力 | 266 Pa | ||
| 排気速度 ※4 | N2 | 1080 L/s | 950 L/s |
| Ar | 1020 L/s | 890 L/s | |
| H2 | 710 L/s | 680 L/s | |
| 圧縮比 | N2 | 2×108 | |
| H2 | 8×102 | ||
| 規定回転数 | 37200 rpm | ||
| 起動時間 | 8分以内 | ||
| 取り付け方向 | 全方位取り付け可能 | ||
| 振動［弊社測定方法による］ | 0.01 μm以下（片振幅） | ||
| 推奨ガスパージ流量※2 | 30 mL/min | ||
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 | 600 L/min以上 | ||
| 許容周囲温度 | 10 ～ 40 ℃ | ||
| 許容磁束密度 | 半径方向 | 3 mT | |
| 軸方向 | 15 mT | ||
| 冷却水 | 流量 | 3 L/min以上 | |
| 水圧 | 0.2～0.5 MPa | ||
| 水温 | 19 ～ 30 ℃（露点以上） | ||
| 表示 | ランプ | POWER / NORMAL / ALARM | |
| 外部制御 | 接点入出力 | REMOTE（D-sub 25ピン メスコネクタ、固定金具UNC 4-40） | |
| 入力：START / STOP / RESET / LOW SPEED | |||
| 出力：ROTATION / NORMAL / ACCELERATION / BRAKE / REMOTE / ALARM / WARNING | |||
| シリアルインターフェース | RS-232C / RS-485（2線式） | ||
| 回転数可変 | ポンプ規定回転数の25 % ～ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。 （設定は0.1 %単位） | ||
| 入力電源 | 電圧 | 単相AC 200 ～ 240 V（50 / 60 Hz） | |
| 所要電力 | 0.75 kVA | ||
| 質量 | 43 kg | ||
- ※1:生成物によりポンプが故障する可能性が有りますので腐食性ガスを流さないでください。
- ※2:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。（SCCM表記と等価です。）
- ※3:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
- ※4:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は、VG150：1020 L/s，ISO160B：900 L/sとなります。