| VG200 / ISO200B |
| KF40 |
| 水冷 |
| 10-7 Pa オーダ |
| 600 mL/min |
| 4.5 Pa |
| 200 Pa |
| 1400 L/s |
| 1350 L/s |
| 1×108 以上 |
| 5×103 |
| 9×102 |
| 33700 rpm |
| 9分以内 |
| 全方位取り付け可能 |
| 0.01 μm 以下 （片振幅） |
| 30 mL/min |
| 1500 L/min 以上 |
| 10 ～ 40 ℃ |
| 3 mT |
| 15 mT |
| 3 ～ 4 L/min |
| 0.2 ～ 0.4 MPa |
| 19 ～ 30 ℃（露点以上） |
| POWER / STATUS / ROTATION / NET |
| REMOTE（D-sub 37ピン メス、固定金具M2.6） |
| 入力：START / STOP / RESET / LOW SPEED |
| 出力：ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING / CONNECTION |
| RS-232C / RS-485（D-sub 9ピン オス、固定金具M2.6） |
| ポンプ規定回転数の25 % ～ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。（設定は0.1 %単位） |
| 単相AC 200 ～ 240 V（50 / 60 Hz） |
| 1.2 kVA |
| 60 kg |
