ターボ分子ポンプのご使用にあたって

ご使用のプロセスや環境が以下に該当する場合、条件によってはご使用の制限や定期的オーバホールが必要となることがあります。可能性がある場合は事前に弊社にご相談ください。

1. ガリウムを含む特殊ガスを吸引する場合
2. 反応性ガスを吸引する場合
3. 大きい振動や衝撃が加わるところでご使用の場合
4. 強磁界中に設置する場合
5. 放射線のあたるところでご使用の場合
6. 直接プラズマの照射を受けるところに取り付ける場合
7. 高電圧を扱う装置でご使用の場合
8. 頻繁に大気突入をする場合 （非常停止、停電時のシーケンスにご注意）
9. 装置の可動部分に取り付けられる場合

ご不明の点は下記サービス窓口へお問い合わせ下さい。

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