ターボ分子ポンプのご使用にあたって

ご使用のプロセスや環境が以下に該当する場合、条件によってはご使用の制限や定期的オーバホールが必要となることがあります。可能性がある場合は事前に弊社にご相談ください。

  1. ガリウムを含む特殊ガスを吸引する場合
  2. 反応性ガス、腐食性ガス、毒性ガスを吸引する場合
  3. 大きい振動や衝撃が加わるところでご使用の場合
  4. 強磁界中に設置する場合
  5. 放射線のあたるところでご使用の場合
  6. 直接プラズマの照射を受けるところに取り付ける場合
  7. 高電圧を扱う装置でご使用の場合
  8. 頻繁に大気突入をする場合 (非常停止、停電時など非定常時のシーケンスにより発生する場合があります)
  9. 装置の可動部分に取り付けられる場合