磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源別置き型TMP-1503

ポンプ本体標準仕様

ターボ分子ポンプ TMP-1503LM TMP-1503LMC
吸気口側フランジ VG250 / ICF305 / ISO250B
排気口側フランジ KF40
冷却方法 水冷
到達圧力 (ベーキング後)※1 10-8 Pa オーダ 10-7 Pa オーダ
Arの最大許容流量 500 mL/min ※2 800 mL/min
N2連続運転時の最大吸気口圧力 133 Pa
連続運転時の最大排気口圧力 270 Pa
排気速度 ※3 N2 1500 L/s
He 1200 L/s
H2 800 L/s
圧縮比 N2 6×108
He 1×104
H2 1×103
規定回転数 30300 rpm
起動時間 7分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
ポンプ吸気口ベーキング温度 120 ℃以下
振動 [弊社測定方法による] 0.01 μm 以下 (片振幅)
推奨ガスパージ流量 20 ~ 30 mL/min ※2
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 600 L/min 以上
許容周囲温度 0 ~ 40 ℃
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
冷却水 流量 1 ~ 3 L/min
水圧 0.2 ~ 0.5 MPa
水温 5 ~ 30 ℃
質量 42 kg
  • ※1:吸気口フランジに金属ガスケットを使用した場合の値です。
    Oリングガスケットを使用した場合は、到達圧力は10-7 Pa オーダとなります。
  • ※2:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。 (SCCM表記と等価です。)
  • ※3:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は1380 L/sとなります。

電源装置標準仕様

電源装置 EI-R04M
バッテリ 不要
組合せ互換性 ポンプ、電源装置、磁気軸受ケーブル、モータケーブルの組合わせ互換性あり。
回転数可変 規定回転数の25 % ~ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。 (設定は0.1 %単位)
外部制御 接点入出力 REMOTE (MR-34)
入力 : START / STOP / RESET / LOW SPEED
出力 : ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING
シリアルインターフェース フロントパネル : RS-232C (D-sub 9 ピンオス、固定金具 M2.6)
リアパネル : RS-485 (D-sub 9 ピンメス、固定金具 M2.6)
許容周囲条件 温度 動作時 0 ~ 45 ℃ (ただし結露しないこと)
湿度 40 ~ 80 %RH
入力電源 電圧 単相AC 200 ~ 240 V ± 10 % (50/60 Hz ± 2Hz)
所要電力 1.0 kVA
質量 8 kg

反応生成物対応型(温度調節機能付き)もご用意できます。詳細についてはお問合せください。

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