ポンプ本体標準仕様
| ターボ分子ポンプ | TMP-1503LM | TMP-1503LMC | |
|---|---|---|---|
| 吸気口側フランジ | VG250 / ICF305 / ISO250B | ||
| 排気口側フランジ | KF40 | ||
| 冷却方法 | 水冷 | ||
| 到達圧力 （ベーキング後）※1 | 10-8 Pa オーダ | 10-7 Pa オーダ | |
| Arの最大許容流量 | 500 mL/min ※2 | 800 mL/min | |
| N2連続運転時の最大吸気口圧力 | 133 Pa | ||
| 連続運転時の最大排気口圧力 | 270 Pa | ||
| 排気速度 ※3 | N2 | 1500 L/s | |
| He | 1200 L/s | ||
| H2 | 800 L/s | ||
| 圧縮比 | N2 | 6×108 | |
| He | 1×104 | ||
| H2 | 1×103 | ||
| 規定回転数 | 30300 rpm | ||
| 起動時間 | 7分以内 | ||
| 取り付け方向 | 全方位取り付け可能 | ||
| ポンプ吸気口ベーキング温度 | 120 ℃以下 | ||
| 振動 ［弊社測定方法による］ | 0.01 μm 以下 （片振幅） | ||
| 推奨ガスパージ流量 | 20 ～ 30 mL/min ※2 | ||
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 | 600 L/min 以上 | ||
| 許容周囲温度 | 0 ～ 40 ℃ | ||
| 許容磁束密度 | 半径方向 | 3 mT | |
| 軸方向 | 15 mT | ||
| 冷却水 | 流量 | 1 ～ 3 L/min | |
| 水圧 | 0.2 ～ 0.5 MPa | ||
| 水温 | 5 ～ 30 ℃ | ||
| 質量 | 42 kg | ||
- ※1:吸気口フランジに金属ガスケットを使用した場合の値です。
Oリングガスケットを使用した場合は、到達圧力は10-7 Pa オーダとなります。 - ※2:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。 （SCCM表記と等価です。）
- ※3:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は1380 L/sとなります。
電源装置標準仕様
| 電源装置 | EI-R04M | |
|---|---|---|
| バッテリ | 不要 | |
| 組合せ互換性 | ポンプ、電源装置、磁気軸受ケーブル、モータケーブルの組合わせ互換性あり。 | |
| 回転数可変 | 規定回転数の25 % ～ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。 （設定は0.1 %単位） | |
| 外部制御 | 接点入出力 | REMOTE （MR-34） |
| 入力 ： START / STOP / RESET / LOW SPEED | ||
| 出力 ： ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING | ||
| シリアルインターフェース | フロントパネル ： RS-232C （D-sub 9 ピンオス、固定金具 M2.6） | |
| リアパネル ： RS-485 （D-sub 9 ピンメス、固定金具 M2.6） | ||
| 許容周囲条件 | 温度 | 動作時 0 ～ 45 ℃ （ただし結露しないこと） |
| 湿度 | 40 ～ 80 %RH | |
| 入力電源 | 電圧 | 単相AC 200 ～ 240 V ± 10 % （50/60 Hz ± 2Hz） |
| 所要電力 | 1.0 kVA | |
| 質量 | 8 kg | |