ポンプ本体標準仕様
ターボ分子ポンプ | TMP-2804LMC | TMP-2804LMTC | |||
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吸気口側フランジ | VG250 | ISO250B | VG250 | ISO250B | |
排気口側フランジ | KF40 | ||||
冷却方法 | 水冷 | ||||
到達圧力(ベーキング後) | 10-7 Pa オーダ | ||||
Arの最大許容流量 | 1900 mL/min※1 ※2 | 1000 mL/min (設定温度:65 ℃)※1 ※4 |
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連続運転時の最大吸気口圧力 | 40 Pa | ||||
連続運転時の最大排気口圧力 | 270 Pa | ||||
排気速度 ※3 | N2 | 2800 L/s | 2500 L/s | 2800 L/s | 2500 L/s |
Ar | 2700 L/s | 2400 L/s | 2700 L/s | 2400 L/s | |
H2 | 2100 L/s | 2000 L/s | 2100 L/s | 2000 L/s | |
He | 2800 L/s | 2600 L/s | 2800 L/s | 2600 L/s | |
圧縮比 | N2 | 1×109 以上 | |||
He | 1×105 | ||||
H2 | 6×103 | ||||
規定回転数 | 27600 rpm | ||||
起動時間 | 12分以内 | ||||
取り付け方向 | 全方位取り付け可能 | ||||
振動[弊社測定方法による] | 0.01 μm 以下(片振幅) | ||||
推奨ガスパージ流量※1 | 30 mL/min | ||||
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 | 1500 L/min 以上 | ||||
設定温度※5 | - | 65 ℃, 75 ℃ | |||
許容周囲温度 | 0 ~ 40 ℃ | 10 ~ 40 ℃ | |||
許容磁束密度 | 半径方向 | 3 mT | |||
軸方向 | 15 mT | ||||
冷却水 | 流量 | 2 ~ 4 L/min | |||
水圧 | 0.2 ~ 0.5 MPa | 0.2 ~ 0.4 MPa | |||
水温 | 5 ~ 25 ℃ | ||||
質量 | 84 kg |
電源装置標準仕様
電源装置 | EI-R04M | EI-R04MT | |
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バッテリ | 不要 | ||
ポンプ温調の設定温度 | - | 65 ℃, 75 ℃ | |
組合わせ互換性 | ポンプ、電源装置、制御ケーブルの組合わせ互換性あり | ポンプ、電源装置、制御ケーブル、温調ケーブルの組合わせ互換性あり | |
回転数可変 | 規定回転数の25 % ~ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。 (設定は0.1 %単位) | ||
外部制御 | 接点入出力 | REMOTE (MR-34) | |
入力 : START / STOP / RESET / LOW SPEED | |||
出力:ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING | 出力:ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING / TEMP.STABLE | ||
シリアルインターフェース | フロントパネル:RS-232C(D-sub 9ピンオス、固定金具M2.6) | ||
リアパネル:RS-485(D-sub 9ピンメス、固定金具M2.6) | |||
許容周囲条件 | 温度 | 動作時 0 ~ 45 ℃ (ただし結露しないこと) | |
湿度 | 40 ~ 80 %RH | ||
入力電源 | 電圧 | 単相 AC 200 ~ 240 V(50 / 60 Hz) | |
所要電力 | 1.5 kVA | 2.0 kVA | |
質量 | 8 kg |