複合軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型TMP-B300

ポンプ本体標準仕様

形名 TMP-B300
冷却方法 自然空冷 強制空冷 水冷※1
到達圧力※3 ベーキング後 ※2 10-8 Paオーダ※3 10-8 Paオーダ※3
ベーキング前 10-6 Paオーダ 10-6 Paオーダ 10-6 Paオーダ
排気速度※4 N2 280L/s 280L/s 280 L/s
He 270L/s 270L/s 270 L/s
H2 220L/s 220L/s 220 L/s
最大圧縮比 N2 > 1×109 > 1×109 > 1×109
He 7×106 7×106 7×106
H2 1×105 1×105 1×105
臨界背圧 1300Pa 1300Pa 1300 Pa
連続運転
可能な
最大排気口
圧力※5
N2 100Pa
(周囲温度35℃以下)
1000 Pa
(周囲温度25℃以下)
930 Pa
(周囲温度35℃以下)
1300 Pa
(周囲温度40℃以下)
連続運転可能な
N2ガス流量
10 SCCM
(周囲温度25℃)
4 SCCM
(周囲温度35℃)
100 SCCM
(周囲温度25℃)
40 SCCM
(周囲温度35℃)
240 SCCM
(周囲温度40℃以下)
質量 ICF 9.4 kg 9.7 kg 10.1 kg
VG 6.3 kg 6.6 kg 7.0 kg
ISO 6.0 kg 6.3 kg 6.7 kg
KF
軸受方式 反発式磁気軸受,セラミック玉軸受
吸気口フランジ VG100,ICF152,ISO100
排気口フランジ KF16
規定回転数 60000 rpm
起動時間(80 %まで) 3.5分
取り付け方向 全方位
騒音
[弊社測定方法による]※6
50 dB(A) 未満
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
電源
 
電圧 DC24 V ± 5 %
最大所要電力 180 W
  • ※1:冷却水温度:露点以上、28℃以下、冷却水流量:1L/min
    ※2:ベーキングはICFフランジの強制空冷および水冷仕様時のみ実施可能です。
  • ※3:補助ポンプに二段式油回転ポンプ(島津産機システムズ社製)を使用した場合の値です。
  • ※4:保護ネットなしの場合の値です。
      保護ネットを使用した場合のN2ガスに対する排気速度は260 L/sとなります。
  • ※5:吸気口からの排気ガス流量0 mL/minの場合に連続運転可能な値です。
  • ※6:ISOフランジ仕様での測定値です。