ポンプ本体標準仕様
| 形名 | TMP-B300 | |||
|---|---|---|---|---|
| 冷却方法 | 自然空冷 | 強制空冷 | 水冷※1 | |
| 到達圧力※3 | ベーキング後 | ※2 | 10-8 Paオーダ※3 | 10-8 Paオーダ※3 |
| ベーキング前 | 10-6 Paオーダ | 10-6 Paオーダ | 10-6 Paオーダ | |
| 排気速度※4 | N2 | 280L/s | 280L/s | 280 L/s |
| He | 270L/s | 270L/s | 270 L/s | |
| H2 | 220L/s | 220L/s | 220 L/s | |
| 最大圧縮比 | N2 | > 1×109 | > 1×109 | > 1×109 |
| He | 7×106 | 7×106 | 7×106 | |
| H2 | 1×105 | 1×105 | 1×105 | |
| 臨界背圧 | 1300Pa | 1300Pa | 1300 Pa | |
| 連続運転 可能な 最大排気口 圧力※5 |
N2 | 100Pa （周囲温度35℃以下） |
1000 Pa （周囲温度25℃以下） 930 Pa （周囲温度35℃以下） |
1300 Pa (周囲温度40℃以下） |
| 連続運転可能な N2ガス流量 |
10 SCCM （周囲温度25℃） 4 SCCM （周囲温度35℃） |
100 SCCM （周囲温度25℃） 40 SCCM （周囲温度35℃） |
240 SCCM (周囲温度40℃以下) |
|
| 質量 | ICF | 9.4 kg | 9.7 kg | 10.1 kg |
| VG | 6.3 kg | 6.6 kg | 7.0 kg | |
| ISO | 6.0 kg | 6.3 kg | 6.7 kg | |
| KF | － | － | － | |
| 軸受方式 | 反発式磁気軸受，セラミック玉軸受 | |||
| 吸気口フランジ | VG100，ICF152，ISO100 | |||
| 排気口フランジ | KF16 | |||
| 規定回転数 | 60000 rpm | |||
| 起動時間（80 %まで） | 3.5分 | |||
| 取り付け方向 | 全方位 | |||
| 騒音 ［弊社測定方法による］※6 |
50 dB(A) 未満 | |||
| 許容磁束密度 | 半径方向 | 3 mT | ||
| 軸方向 | 15 mT | |||
| 電源 |
電圧 | DC24 V ± 5 % | ||
| 最大所要電力 | 180 W | |||
- ※1:冷却水温度：露点以上、28℃以下、冷却水流量：1L/min
※2:ベーキングはICFフランジの強制空冷および水冷仕様時のみ実施可能です。 - ※3:補助ポンプに二段式油回転ポンプ（島津産機システムズ社製）を使用した場合の値です。
- ※4:保護ネットなしの場合の値です。
保護ネットを使用した場合のN2ガスに対する排気速度は260 L/sとなります。 - ※5:吸気口からの排気ガス流量0 mL/minの場合に連続運転可能な値です。
- ※6:ISOフランジ仕様での測定値です。