ポンプ本体標準仕様
| ターボ分子ポンプ | TMP-4304LMC | TMP-4304LMTC | |
|---|---|---|---|
| 吸気口側フランジ | VG350 | ||
| 排気口側フランジ | KF40 | ||
| 冷却方法 | 水冷 | ||
| 到達圧力（ベーキング後） | 10-7 Paオーダ | ||
| Arの最大許容流量※1 ※2 | 2200 mL/min※1 | 1200 mL/min （設定温度：65 ℃）※1 ※2 |
|
| 連続運転時の最大吸気口圧力 | 40 Pa | ||
| 連続運転時の最大排気口圧力 | 270 Pa | ||
| 排気速度※3 | N2 | 4400 L/s | |
| Ar | 4200 L/s | ||
| H2 | 2600 L/s | ||
| 圧縮比 | N2 | 1×109 以上 | |
| He | 3×104 | ||
| H2 | 2×103 | ||
| 規定回転数 | 24000 rpm | ||
| 起動時間 | 18分以内 | ||
| 取り付け方向 | 全方位取り付け可能 | ||
| 振動 ［弊社測定方法による］ | 0.01 μm以下（片振幅） | ||
| 推奨ガスパージ流量※1 | 30 mL/min | ||
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 | 1500 L/min以上 | ||
| 設定温度※4 | － | 65 ℃, 75 ℃ | |
| 許容周囲温度 | 0 ～ 40 ℃ | 10 ～ 40 ℃ | |
| 許容磁束密度 | 半径方向 | 3 mT | |
| 軸方向 | 15 mT | ||
| 冷却水 | 流量 | 2 ～ 4 L/min | |
| 水圧 | 0.2 ～ 0.5 MPa | 0.2 ～ 0.4 MPa | |
| 水温 | 5 ～ 25 ℃ | ||
| 質量 | 105 kg | ||
- ※1:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。（SCCM表記と等価です。）
- ※2:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「ポンプの設定温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
- ※3:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は4000 L/sとなります。
- ※4:温度センサのモニタ値を使い、冷却水による冷却をONにする温度です。なお、ヒータは設定温度－5 ℃でON／OFFします。
電源装置標準仕様
| 電源装置 | EI-R04M | EI-R04MT | |
|---|---|---|---|
| バッテリ | 不要 | ||
| ポンプ温調の設定温度 | － | 65 ℃, 75 ℃ | |
| 組合わせ互換性 | ポンプ、電源装置、制御ケーブルの組合わせ互換性あり。 | ポンプ、電源装置、制御ケーブル、温調ケーブルの組合わせ互換性あり | |
| 回転数可変 | 規定回転数の25 % ～ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。（設定は0.1 %単位） | ||
| 外部制御 | 接点入出力 | REMOTE（MR-34） | |
| 入力：START / STOP / RESET / LOW SPEED | |||
| 出力 ： ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING | 出力：ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING / TEMP.STABLE | ||
| シリアルインターフェース | フロントパネル：RS-232C （D-sub 9 ピンオス、固定金具 M2.6） | ||
| リアパネル：RS-485 （D-sub 9 ピンメス、固定金具 M2.6） | |||
| 許容周囲条件 | 温度 | 動作時0 ～ 45 ℃（ただし結露しないこと） | |
| 湿度 | 40 ～ 80 %RH | ||
| 入力電源 | 電圧 | 単相AC 200 ～ 240 V ± 10 % （50/60 Hz） | |
| 所要電力 | 1.5 kVA | 2.0 kVA | |
| 質量 | 8 kg | ||