磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型TMP-V2304

標準仕様

ターボ分子ポンプ※1 TMP-V2304LM
吸気口側フランジ VG250 / ISO250B
排気口側フランジ KF40
冷却方法 水冷
到達圧力 (ベーキング後) 10-7 Pa オーダ
Arの最大許容流量※2 ※3 600 mL/min
N2連続運転時の最大吸気口圧力 4.5 Pa
N2連続運転時の最大排気口圧力 200 Pa
排気速度※4 N2 2100 L/s
Ar 2000 L/s
圧縮比 N2 1×108 以上
He 5×103
H2 9×102
規定回転数 33700 rpm
起動時間 9分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
振動 [弊社測定方法による] 0.01 μm 以下 (片振幅)
推奨ガスパージ流量※2 30 mL/min
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 1500 L/min 以上
許容周囲温度 10 ~ 40 ℃
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
冷却水 流量 3 ~ 4 L/min
水圧 0.2 ~ 0.4 MPa
水温 19 ~ 30 ℃(露点以上)
表示 ランプ POWER / STATUS / ROTATION / NET
外部制御 接点入出力 REMOTE(D-sub 37ピン メス、固定金具M2.6)
入力:START / STOP / RESET / LOW SPEED
出力:ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL /REMOTE / ALARM / WARNING / CONNECTION
シリアルインターフェース RS-232C / RS-485(D-sub 9ピン オス、固定金具M2.6)
回転数可変 ポンプ規定回転数25 % ~ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。(設定は0.1 %単位)
入力電源 電圧 単相 AC 200 ~ 240 V(50 / 60 Hz)
所要電力 1.2 kVA
質量 56 kg
  • ※1:生成物によりポンプが故障する可能性が有りますので腐食性ガスを流さないでください。
  • ※2:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。(SCCM表記と等価です。)
  • ※3:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
  • ※4:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は1950 L/sとなります。

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