ポンプ本体標準仕様
| ターボ分子ポンプ | TMP-303LM | TMP-303LMC | TMP-303M | TMP-303MC | |
|---|---|---|---|---|---|
| 吸気口側フランジ | VG100 / ICF152 / ISO100B / ISO100C | ||||
| 排気口側フランジ | KF25 | ||||
| 冷却方法 | 水冷 | 空冷 | |||
| 到達圧力（ベーキング後）※1 | 10-8 Pa オーダ | 10-7 Pa オーダ | 10-8 Pa オーダ | 10-7 Pa オーダ | |
| N2連続運転時の最大吸気口圧力 | 200 Pa | 1.3 Pa | |||
| 連続運転時の最大排気口圧力 | 400 Pa | 40 Pa | |||
| 排気速度※2 | N2 | 320 L/s | |||
| He | 340 L/s | ||||
| H2 | 320 L/s | ||||
| 圧縮比 | N2 | 1×109 | |||
| He | 8×104 | ||||
| H2 | 1×104 | ||||
| 規定回転数 | 45000 rpm | ||||
| 起動時間 | 5分以内 | ||||
| 取り付け方向 | 全方位取り付け可能 | ||||
| ポンプ吸気口ベーキング温度 | 120 ℃以下 | ||||
| 振動［弊社測定方法による］ | 0.012 μm 以下（片振幅） | ||||
| 推奨ガスパージ流量 | 20 ～ 30 mL/min※3 | ||||
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 | 200 L/min 以上 | ||||
| 許容周囲温度 | 0 ～ 40 ℃ | ||||
| 許容磁束密度 | 半径方向 | 3 mT | |||
| 軸方向 | 15 mT | ||||
| 冷却水 | 流量 | 1 ～ 3 L/min | ― | ||
| 水圧 | 0.2 ～ 0.5 MPa | ||||
| 水温 | 5 ～ 30 ℃ | ||||
| 質量 | 14 kg | ||||
- ※1：吸気口フランジに金属ガスケットを使用した場合の値です。Oリングガスケットを使用した場合は、到達圧力は10-7 Pa オーダとなります。
- ※2：保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は300 L/sとなります。
- ※3：mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。（SCCM表記と等価です。）
電源装置標準仕様
| 電源装置 | EI-S04M | |
|---|---|---|
| バッテリ | 不要 | |
| 組合せ互換性 | ポンプ、電源装置、磁気軸受ケーブル、ファンケーブルの組合せ互換性あり。 | |
| 回転数可変 | 規定回転数の25 % ～ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。（設定は0.1 %単位） | |
| 外部制御 | 接点入出力 | REMOTE（MR-34） |
| 入力：START / STOP / RESET / LOW SPEED | ||
| 出力：ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING | ||
| シリアルインターフェース | フロントパネル：RS-232C（D-sub 9 ピンオス、固定金具 M2.6） | |
| リアパネル：RS-485（D-sub 9 ピンメス、固定金具 M2.6） | ||
| 許容周囲条件 | 温度 | 動作時 0 ～ 45 ℃ （ただし結露しないこと） |
| 湿度 | 40 ～ 80 %RH | |
| 入力電源 | 電圧 | 単相AC 100 ～ 120 V ± 10 % （50/60 Hz ± 2Hz） |
| 単相AC 200 ～ 240 V ± 10 % （50/60 Hz ± 2Hz） | ||
| 所要電力 | 550 VA | |
| 質量 | 8 kg | |