磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型TMP-V4404

標準仕様

ターボ分子ポンプ※1 TMP-V4404LMW
吸気口側フランジ VG350
排気口側フランジ KF40
冷却方法 水冷
到達圧力 (ベーキング後) 10-7 Pa オーダ
Arの最大許容流量※2 ※3 1450 mL/min
N2連続運転時の最大吸気口圧力※3 40 Pa
N2連続運転時の最大排気口圧力※3 170 Pa
排気速度※4 N2 4050 L/s
Ar 1800 L/s
圧縮比 N2 1.5×107
He 4.0×103
H2 4.4×102
規定回転数 24000 rpm
起動時間 12分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
振動 [弊社測定方法による] 0.01 μm 以下 (片振幅)
推奨ガスパージ流量※2 30 mL/min
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 1500 L/min 以上
許容周囲温度 10 ~ 40 ℃
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
冷却水※5 流量 3 ~ 4 L/min
水圧 0.2 ~ 0.4 MPa
水温 19 ~ 30 ℃(露点以上)
表示 ランプ POWER / STATUS / ROTATION / NET
外部制御 接点入出力 REMOTE(D-sub 25ピン メス、固定金具 #4-40UNC)
入力:START / STOP / RESET / LOW SPEED/ 
出力:ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL /REMOTE / ALARM / WARNING / CONNECTION
シリアルインターフェース RS-232C / RS-485(D-sub 9ピン オス、固定金具 #4-40UNC)
回転数可変 ポンプ規定回転数75 % ~ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。(設定は0.1 %単位)
入力電源 電圧※6 単相 AC 200 ~ 240 V(50 / 60 Hz)
所要電力 1.2 kVA
質量 98 kg
  • ※1:生成物によりポンプが故障する可能性が有りますので腐食性ガスを流さないでください。
  • ※2:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。(SCCM表記と等価です。)
  • ※3:最大吸気口圧力,最大排気口圧力,および最大許容流量の条件は同時に満たすことは出来ません。 
  • ※4:保護ネットありの場合の値です。
  • ※5:結露しない水温であること。
  • ※6:一時的な電圧変動許容範囲:±10 %、一時的な周波数変動許容範囲:2 Hz

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