ターボ分子ポンプ電源一体型TMP-V2304LM 真空機器/産業機械島津製作所

ターボ分子ポンプ^※1		TMP-V4404LMW
吸気口側フランジ		VG350
排気口側フランジ		KF40
冷却方法		水冷
到達圧力（ベーキング後）		10^-7 Pa オーダ
Arの最大許容流量^※2 ※3		1450 mL/min
N₂連続運転時の最大吸気口圧力^※3		40 Pa
N₂連続運転時の最大排気口圧力^※3		170 Pa
排気速度^※4	N₂	4050 L/s
排気速度^※4	Ar	4300 L/s
圧縮比	N₂	1.5×10⁷
	He	4.0×10³
	H₂	4.4×10²
規定回転数		24000 rpm
起動時間		12分以内
取り付け方向		全方位取り付け可能
振動［弊社測定方法による］		0.01 μm 以下（片振幅）
推奨ガスパージ流量^※2		30 mL/min
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度		1500 L/min 以上
許容周囲温度		10 ～ 40 ℃
許容磁束密度	半径方向	3 mT
許容磁束密度	軸方向	15 mT
冷却水^※5	流量	3 ～ 4 L/min
	水圧	0.2 ～ 0.4 MPa
	水温	19 ～ 30 ℃（露点以上）
表示	ランプ	POWER / STATUS / ROTATION / NET
外部制御	接点入出力	REMOTE（D-sub 25ピンメス、固定金具 #4-40UNC）
		入力：START / STOP / RESET / LOW SPEED/
		出力：ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL /REMOTE / ALARM / WARNING / CONNECTION
	シリアルインターフェース	RS-232C / RS-485（D-sub 9ピンオス、固定金具 #4-40UNC）
回転数可変		ポンプ規定回転数75 % ～ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。（設定は0.1 %単位）
入力電源	電圧^※6	単相 AC 200 ～ 240 V（50 / 60 Hz）
入力電源	所要電力	1.2 kVA
質量		98 kg

磁気軸受型ターボ分子ポンプ　電源一体型TMP-V4404