ポンプ本体標準仕様
ターボ分子ポンプ | TMP-1003LM | TMP-1003LMC | TMP-1003M | TMP-1003MC | |
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吸気口側フランジ | VG200 / ICF253 / ISO200B | ||||
排気口側フランジ | KF40 | ||||
冷却方法 | 水冷 | 空冷 | |||
到達圧力(ベーキング後)※1 | 10-9 Pa オーダ | 10-8 Pa オーダ | 10-9 Pa オーダ | 10-8 Pa オーダ | |
N2連続運転時の最大吸気口圧力 | 400 Pa | 1.3 Pa | |||
連続運転時の最大排気口圧力 | 665 Pa | 40 Pa | |||
排気速度※2 | N2 | 1080 L/s | |||
He | 930 L/s | ||||
H2 | 790 L/s | ||||
圧縮比 | N2 | 1×109 | |||
He | 8×104 | ||||
H2 | 4×103 | ||||
規定回転数 | 35000 rpm | ||||
起動時間 | 5分以内 | ||||
取り付け方向 | 全方位取り付け可能 | ||||
ポンプ吸気口ベーキング温度 | 120 ℃以下 | ||||
振動[弊社測定方法による] | 0.01 μm 以下(片振幅) | ||||
推奨ガスパージ流量 | 20 ~ 30 mL/min※3 | ||||
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 | 500 L/min 以上 | ||||
許容周囲温度 | 0 ~ 40 ℃ | ||||
許容磁束密度 | 半径方向 | 3 mT | |||
軸方向 | 15 mT | ||||
冷却水 | 流量 | 1 ~ 3 L/min | ― | ||
水圧 | 0.2 ~ 0.5 MPa | ||||
水温 | 5 ~ 30 ℃ | ||||
質量 | 32 kg以下 |
電源装置標準仕様
電源装置 | EI-R04M | |
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バッテリ | 不要 | |
組合せ互換性 | ポンプ、電源装置、磁気軸受ケーブル、モータケーブルの組合わせ互換性あり。 | |
回転数可変 | 規定回転数の25 % ~ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。 (設定は0.1 %単位) | |
外部制御 | 接点入出力 | REMOTE(MR-34) |
入力:START / STOP / RESET / LOW SPEED | ||
出力:ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING | ||
シリアルインターフェース | フロントパネル:RS-232C(D-sub 9 ピンオス、固定金具 M2.6) | |
リアパネル:RS-485(D-sub 9 ピンメス、固定金具 M2.6) | ||
許容周囲条件 | 温度 | 動作時 0 ~ 45 ℃ (ただし結露しないこと) |
湿度 | 40 ~ 80 %RH | |
入力電源 | 電圧 | 単相AC 200 ~ 240 V ± 10 %(50/60 Hz ± 2Hz) |
所要電力 | 1.0 kVA | |
質量 | 8 kg |