磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源別置き型TMP-1003

ポンプ本体標準仕様

ターボ分子ポンプ TMP-1003LM TMP-1003LMC TMP-1003M TMP-1003MC
吸気口側フランジ VG200 / ICF253 / ISO200B
排気口側フランジ KF40
冷却方法 水冷 空冷
到達圧力(ベーキング後)※1 10-9 Pa オーダ 10-8 Pa オーダ 10-9 Pa オーダ 10-8 Pa オーダ
N2連続運転時の最大吸気口圧力 400 Pa 1.3 Pa
連続運転時の最大排気口圧力 665 Pa 40 Pa
排気速度※2 N2 1080 L/s
He 930 L/s
H2 790 L/s
圧縮比 N2 1×109
He 8×104
H2 4×103
規定回転数 35000 rpm
起動時間 5分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
ポンプ吸気口ベーキング温度 120 ℃以下
振動[弊社測定方法による] 0.01 μm 以下(片振幅)
推奨ガスパージ流量 20 ~ 30 mL/min※3
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 500 L/min 以上
許容周囲温度 0 ~ 40 ℃
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
冷却水 流量 1 ~ 3 L/min
水圧 0.2 ~ 0.5 MPa
水温 5 ~ 30 ℃
質量 32 kg以下
  • ※1:吸気口フランジに金属ガスケットを使用した場合の値です。Oリングガスケットを使用した場合は、到達圧力は10-7 Pa オーダとなります。
  • ※2:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は970 L/sとなります。
  • ※3:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。(SCCM表記と等価です。)

電源装置標準仕様

電源装置 EI-R04M
バッテリ 不要
組合せ互換性 ポンプ、電源装置、磁気軸受ケーブル、モータケーブルの組合わせ互換性あり。
回転数可変 規定回転数の25 % ~ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。 (設定は0.1 %単位)
外部制御 接点入出力 REMOTE(MR-34)
入力:START / STOP / RESET / LOW SPEED
出力:ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING
シリアルインターフェース フロントパネル:RS-232C(D-sub 9 ピンオス、固定金具 M2.6)
リアパネル:RS-485(D-sub 9 ピンメス、固定金具 M2.6)
許容周囲条件 温度 動作時 0 ~ 45 ℃ (ただし結露しないこと)
湿度 40 ~ 80 %RH
入力電源 電圧 単相AC 200 ~ 240 V ± 10 %(50/60 Hz ± 2Hz)
所要電力 1.0 kVA
質量 8 kg

反応生成物対応型(温度調節機能付き)もご用意できます。詳細についてはお問合せください。

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