磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型TMP-X2905

標準仕様

ターボ分子ポンプ TMP-X2905LMC TMP-X2905LMTC
吸気口側フランジ VG250 / ISO250B
排気口側フランジ KF40
冷却方法 水冷
到達圧力 (ベーキング後) 10-7 Pa オーダ
Arの最大許容流量 1300 mL/min※1 ※2 800 mL/min(設定温度:65 ℃)※1 ※4
N2連続運転時の最大吸気口圧力 40 Pa
N2連続運転時の最大排気口圧力 270 Pa
排気速度※3 N2 2500 L/s
Ar 2400 L/s
H2 1900 L/s
圧縮比 N2 2×108
H2 1×103
規定回転数 27600 rpm
起動時間 12分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
振動 [弊社測定方法による] 0.05 μm以下(片振幅)
温度制御の設定温度 - 65 ℃, 75 ℃※5
推奨ガスパージ流量※1 30 mL/min 30 ~ 100 mL/min
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 2000 L/min以上
許容周囲温度 10 ~ 40 ℃
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
冷却水 流量 3 L/min以上
水圧 0.2 ~ 0.4 MPa
水温 19 ~ 30 ℃(露点以上)
表示 ランプ POWER / ROTATION / ALARM POWER / ROTATION / TEMP.CONTROL / ALARM
外部制御 接点入出力 REMOTE(D-sub 25ピン メスコネクタ、固定金具UNC 4-40)
入力:START / STOP / RESET / LOW SPEED
出力:ROTATION/ NORMAL / ACCELERATION / BRAKE / REMOTE / ALARM / WARNING 出力:ROTATION/ NORMAL / ACCELERATION / BRAKE / REMOTE / TEMP.STABLE / ALARM / WARNING
シリアルインターフェース RS-232C / RS-485(2線式)
回転数可変 ポンプ規定回転数の25 % ~ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。 (設定は0.1 %単位)
入力電源 電圧 単相AC 200 ~ 240 V(50 / 60 Hz)
所要電力 1.7 kVA 2.1 kVA
質量 100 kg
  • ※1:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。(SCCM表記と等価です。)
  • ※2:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
  • ※3:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は2300 L/sとなります。
  • ※4:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「ポンプの設定温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
  • ※5:温度センサのモニタ値を使い、ポンプ部温調用バルブによる冷却水をONにする温度です。なお、ヒータは設定温度-1 ℃でON/OFFします。

この製品に対する見積りのご依頼や資料をご請求の方はこちらからどうぞ。

カタログ請求/お問い合わせ