ポンプ本体標準仕様
ターボ分子ポンプ | TMP-2203LM(0) | TMP-2203LMC(0) | |
---|---|---|---|
吸気口側フランジ | VG250 / ICF305 / ISO250B | ||
排気口側フランジ | KF40 | ||
冷却方法 | 水冷 | ||
到達圧力 (ベーキング後)※1 | 10-8 Pa オーダ | 10-7 Pa オーダ | |
Arの最大許容流量 | 1300 mL/min ※2 | 2000 mL/min | |
N2連続運転時の最大吸気口圧力 | 40 Pa | ||
連続運転時の最大排気口圧力 | 270 Pa | ||
排気速度※3 | N2 | 2140 L/s | |
He | 2000 L/s | ||
H2 | 1350 L/s | ||
圧縮比 | N2 | 1.4×108 | |
He | 1×104 | ||
H2 | 1×103 | ||
規定回転数 | 24600 rpm | ||
起動時間 | 11分 | ||
取り付け方向 | 全方位取り付け可能 | ||
ポンプ吸気口ベーキング温度 | 120 ℃以下 | ||
振動 [弊社測定方法による] | 0.01 μm 以下 (片振幅) | ||
推奨ガスパージ流量 | 20 ~ 30 mL/min ※2 | ||
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 | 800 L/min 以上 | ||
許容周囲温度 | 0 ~ 40 ℃ | ||
許容磁束密度 | 半径方向 | 3 mT | |
軸方向 | 15 mT | ||
冷却水 | 流量 | 1 ~ 3 L/min | |
水圧 | 0.2 ~ 0.5 MPa | ||
水温 | 5 ~ 30 ℃ | ||
質量 | 59 kg |
- ※1:吸気口フランジに金属ガスケットを使用した場合の値です。
- ※2:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。 (SCCM表記と等価です。)
- ※3:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は2050 L/sとなります。
電源装置標準仕様
電源装置 | EI-R04M | |
---|---|---|
バッテリ | 不要 | |
組合せ互換性 | ポンプ、電源装置、磁気軸受ケーブル、モータケーブルの組合わせ互換性あり。 | |
回転数可変 | 規定回転数の25 % ~ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。 (設定は0.1 %単位) | |
外部制御 | 接点入出力 | REMOTE (MR-34) |
入力:START / STOP / RESET / LOW SPEED | ||
出力:ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING | ||
シリアルインターフェース | フロントパネル:RS-232C (D-sub 9 ピンオス、固定金具 M2.6) | |
リアパネル:RS-485 (D-sub 9 ピンメス、固定金具 M2.6) | ||
許容周囲条件 | 温度 | 動作時 0 ~ 45 ℃ (ただし結露しないこと) |
湿度 | 40 ~ 80 %RH | |
入力電源 | 電圧 | 単相AC 200 ~ 240 V ± 10 % (50/60 Hz ± 2Hz) |
所要電力 | 1.2 kVA | |
質量 | 8 kg |