磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型TMP-X1605

標準仕様

型式 TMP-X1605LM
吸気口側フランジ VG200/VG250/ISO200B/ISO250B
排気口 KF40
排気速度 N2 1400 L/s
Ar 1330 L/s
規定回転数 37200 rpm
到達圧力 (ベーキング後) 10-7 Pa オーダ
N2ガス連続運転時の最大吸気口圧力 26 Pa
N2ガス連続運転時の最大排気口圧力 266 Pa
起動時間 8分以内
騒音 57 dB(A)以下
取付方向 全方位取り付け可能
推奨ガスパージ量 30 mL / min
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
冷却水 流量 3 L/min以上
水圧 0.2~0.5 MPa
水温 19~30 ℃(結露なきこと)
回転数可変 ポンプ規定回転数の25%~100%の間で変更可能
外部通信 接点入出力 REMOTE
シリアル通信 RS-232C/RS-485/Profibus(option)
冷却水バルブ(三方弁) DC24V、10W
異常履歴 過去99件の異常発生の日時と検出内容を記憶
電源 電圧 単相200~240V±10%(50/60 Hz ± 2 Hz)
最大所要電力 0.75 kVA
保護等級 IP54
質量 41 kg
  • ※保護ネットなしの場合の値です。

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