標準仕様
| 型式 | TMP-X1605LM | |
|---|---|---|
| 吸気口側フランジ | VG200/VG250/ISO200B/ISO250B | |
| 排気口 | KF40 | |
| 排気速度 ※ | N2 | 1400 L/s |
| Ar | 1330 L/s | |
| 規定回転数 | 37200 rpm | |
| 到達圧力 （ベーキング後） | 10-7 Pa オーダ | |
| N2ガス連続運転時の最大吸気口圧力 | 26 Pa | |
| N2ガス連続運転時の最大排気口圧力 | 266 Pa | |
| 起動時間 | 8分以内 | |
| 騒音 | 57 dB（A）以下 | |
| 取付方向 | 全方位取り付け可能 | |
| 推奨ガスパージ量 | 30 mL / min | |
| 許容磁束密度 | 半径方向 | 3 mT |
| 軸方向 | 15 mT | |
| 冷却水 | 流量 | 3 L/min以上 |
| 水圧 | 0.2～0.5 MPa | |
| 水温 | 19～30 ℃（結露なきこと） | |
| 回転数可変 | ポンプ規定回転数の25％～100％の間で変更可能 | |
| 外部通信 | 接点入出力 | REMOTE |
| シリアル通信 | RS-232C/RS-485/Profibus（option） | |
| 冷却水バルブ（三方弁） | DC24V、10W | |
| 異常履歴 | 過去99件の異常発生の日時と検出内容を記憶 | |
| 電源 | 電圧 | 単相200～240V±10％（50/60 Hz ± 2 Hz） |
| 最大所要電力 | 0.75 kVA | |
| 保護等級 | IP54 | |
| 質量 | 41 kg | |
- ※保護ネットなしの場合の値です。