磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源別置き型

主要モデル

TMP-X5305

特長:

  • 反応生成物対応
    半導体エッチングや液晶エッチングで発生する反応生成物に対して、ロータ表面処理、ポンプ温度調節、ダイナミックシールなどのポンプ保護対応も万全です。
    (詳細仕様については別途お問い合わせください。)
  • 新フィールドネットワーク対応
    TMP-5305用コントローラEI-A05シリーズは、RS-232CおよびRS-485のシリアル通信のほかEtherCAT通信も選択可能です。通信機能により、TMPの起動/停止、運転状況の監視、運転履歴の読み出しが可能です。

圧倒的な排気流量

Ar許容流量は4000SCCMを実現し、従来ターボ分子ポンプの30%性能向上を達成しました。

業界最高の排気速度

従来機種に対し排気速度を20%向上し、エッチングプロセス向けとして最高の排気速度を実現しました。微細化・多層化が進展するデバイス製造に最適なポンプです。

  • ※エッチングプロセス向け当社調べ

TMP-04シリーズ

コンパクトでシンプルなデザインながら、優れた排気性能と高い省エネ性能を備えています。
大量のガスを安定して連続排気することができ、広い圧力範囲で使用可能な、大量排気シリーズです。

特長:

  • 反応生成物対応
    半導体エッチングや液晶エッチングで発生する反応生成物に対して、ロータ表面処理、ポンプ温度調節、ダイナミックシールなどのポンプ保護対応も万全です。
    (詳細仕様については別途お問い合わせください。)

排気性能の向上

∅300mmウェハ、大型LCD基板の真空処理プロセス用途として、従来機種よりも1~5Pa領域での排気速度を大幅に向上させました。
真空度を維持しながら、より大流量のガスを導入することが可能です。

コンパクトで高機能

2種類の電源で03シリーズ・04シリーズすべてのポンプに対応可能です。
また、ポンプ、電源、ケーブル(長さ3~30m)の組合せを変更しても、調整作業無しで運転可能です。

電源別置き型 ラインナップ