磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源別置き型TMP-3304(0)

ポンプ本体標準仕様

ターボ分子ポンプ TMP-3304LMC (0) TMP-3304LMTC (0)
吸気口側フランジ VG300
排気口側フランジ KF40
冷却方法 水冷
到達圧力 (ベーキング後) 10-7 Pa オーダ
Arの最大許容流量 1900 mL/min※1 ※2 1000 mL/min(設定温度:65 ℃)※1 ※4
連続運転時の最大吸気口圧力 40 Pa
連続運転時の最大排気口圧力 270 Pa
排気速度※3 N2 3200 L/s
Ar 3100 L/s
H2 2200 L/s
He 3100 L/s
圧縮比 N2 1×109 以上
He 1×105
H2 6×103
規定回転数 27600 rpm
起動時間 12分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
振動 [弊社測定方法による] 0.01 μm 以下 (片振幅)
推奨ガスパージ流量※1 30 mL/min
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 1500 L/min 以上
設定温度 65 ℃, 75 ℃※5
許容周囲温度 0 ~ 40 ℃ 10 ~ 40 ℃
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
冷却水 流量 2 ~ 4 L/min
水圧 0.2 ~ 0.5 MPa 0.2 ~ 0.4 MPa
水温 5 ~ 25 ℃
質量 84 kg
  • ※1:mL/minは0 ℃、1気圧での体積流量で表示しています。(SCCM表記と等価です。)
  • ※2:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
  • ※3:保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は2900 L/sとなります。
  • ※4:最大許容流量は、「ガス種類」、「吸気口フランジに接続されるフランジの温度」、「ポンプの設定温度」、「ガスパージ流量」および「排気口圧力」によって異なります。
  • ※5:温度センサのモニタ値を使い、冷却水による冷却をONにする温度です。なお、ヒータは設定温度-5 ℃でON/OFFします。

電源装置標準仕様

電源装置 EI-R04M EI-R04MT
バッテリ 不要
ポンプ温調の設定温度 65 ℃, 75 ℃
組合わせ互換性 ポンプ、電源装置、制御ケーブルの組合わせ互換性あり ポンプ、電源装置、制御ケーブル、温調ケーブルの組合わせ互換性あり
回転数可変 規定回転数の25 % ~ 100 %の間で、運転回転数の変更が可能。
(設定は0.1 %単位)
外部制御 接点入出力 REMOTE (MR-34)
入力:START / STOP / RESET / LOW SPEED
出力:ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING 出力:ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING / TEMP.STABLE
シリアルインターフェース フロントパネル:RS-232C (D-sub 9 ピンオス、固定金具 M2.6)
リアパネル:RS-485 (D-sub 9 ピンメス、固定金具 M2.6)
許容周囲条件 温度 動作時 0 ~ 45 ℃ (ただし結露しないこと)
湿度 40 ~ 80 %RH
入力電源 電圧 単相AC 200 ~ 240 V(50/60 Hz ± 2Hz)
所要電力 1.5 kVA 2.0 kVA
質量 8 kg

反応生成物対応型(温度調節機能付き)もご用意できます。詳細についてはお問合せください。

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