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PRODUCT 真空機器/FPD製造装置
 
ターボ分子ポンプ
  高圧縮型(複合軸受)
TMP-B300 TMP-B70 電源付き表示ユニット
電源付き表示ユニット EI-DPS240 
特長
■ TMPケーブルを接続するだけの簡単接続
■ 視認性に優れた表示パネル
■ 直観的なポンプ運転操作
■ 各社真空計を接続可能
  圧力の対数に対応した0-10Vの電圧を受けて圧力表示が可能
■ 利便性の高いインターロック機能
  電源付き表示ユニット EI-DPS240形
TMP遅延起動 補助ポンプにスタート信号を送った後、設定時間経過後にターボ分子ポンプを起動する機能
真空計連動TMP起動停止 補助ポンプを起動、圧力が設定圧力に到達後、ターボ分子ポンプを起動する機能また、設定圧力を超えた場合にターボ分子ポンプを停止する機能
仕様
項目 詳細
型名 EI-DPS240
電源入力 AC100〜240 V (+10% / -15%)
単相 50/60 Hz
消費電力 最大 280 VA
質量 2.0 kg
仕様
接続例
 
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