複合軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型

主要モデル

TMP-B300 / TMP-B70

特長:

  • 磁気軸受とセラミック軸受との組合せ
    独自のダンピング機構により、低振動と軸受け冷却機能を実現し、高い信頼性と長寿命を実現しました。
  • 高背圧、高い水素圧縮比
    タービン翼とモレキュラドラッグポンプの複合により、高い背圧でも高真空排気が可能となりました。また、水素圧縮比はTMP-B70形で4×105、TMP-B300形で1×105を達成しました。
     ダイヤフラムポンプなど小型のドライ真空ポンプとの組み合わせで、超高真空も実現可能です。
  • 低発熱モータ
    モータの発熱を低減することで軸受温度の上昇を抑え、長寿命を実現しました。
  • 逆流防止ラビリンスシール(TMP-B300形)
    セラミック軸受けに使用されているグリース(基油)の拡散を防ぎクリーンな真空を実現しました。

コントローラ一体型

ローカルでの起動・停止・リセット操作が可能です。
RS485及びリモート接点信号による操作が可能です。
PC用通信ソフトウェアを準備しています。
DC24V入力です。

省電力

新たに開発したパワーユニットや高効率モータを採用することにより消費電力を大幅に低減した環境負荷の低いシリーズです。

全方位取付可能

垂直、水平、倒立取付が可能です。

複合軸受型 ラインナップ一覧

  TMP-Bシリーズ
高圧縮型 TMP-B300
TMP-B70
電源付き表示ユニット EI-DPS240