複合軸受型ターボ分子ポンプ　電源一体型

特長：

• 磁気軸受とセラミック軸受との組合せ
  独自のダンピング機構により、低振動と軸受け冷却機能を実現し、高い信頼性と長寿命を実現しました。
• 高背圧、高い水素圧縮比
  タービン翼とモレキュラドラッグポンプの複合により、高い背圧でも高真空排気が可能となりました。また、水素圧縮比はTMP-B70形で4×10⁵、TMP-B300形で1×10⁵を達成しました。
  　ダイヤフラムポンプなど小型のドライ真空ポンプとの組み合わせで、超高真空も実現可能です。
• 低発熱モータ
  モータの発熱を低減することで軸受温度の上昇を抑え、長寿命を実現しました。
• 逆流防止ラビリンスシール（TMP-B300形）
  セラミック軸受けに使用されているグリース（基油）の拡散を防ぎクリーンな真空を実現しました。