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PRODUCT 真空機器/FPD製造装置
 
ターボ分子ポンプ
  高圧縮型(複合軸受)
TMP-B300 TMP-B70 電源付き表示ユニット
TMP-B70 
ポンプ本体標準仕様
形名 TMP-B70
冷却方法 自然空冷 強制空冷 水冷
到達圧力(注2) ベーキング後 (注1) 10-8 Paオーダ(注2) 10-8 Paオーダ(注2)
ベーキング前 10-6 Paオーダ 10-6 Paオーダ 10-6 Paオーダ
排気速度(注3) N2 70 L/s 70 L/s 70 L/s
He 60 L/s 60 L/s 60 L/s
H2 49 L/s 49 L/s 49 L/s
排気速度(KF40) N2 41 L/s 41 L/s 41 L/s
He 46 L/s 46 L/s 46 L/s
H2 42 L/s 42 L/s 42 L/s
最大圧縮比 N2 > 1×109 > 1×109 > 1×109
He 4×107 4×107 4×107
H2 4×105 4×105 4×105
臨界背圧(N2ガス、87,000rpm) 1400Pa 1400Pa 1400Pa
連続運転可能な
最大排気口圧力(注4)
N2 300 Pa(周囲温度25℃以下)
200 Pa(周囲温度30℃以下)
900 Pa(周囲温度25℃以下)
600 Pa(周囲温度35℃以下)
900 Pa(周囲温度25℃以下)
600 Pa(周囲温度40℃以下)
連続運転可能なN2ガス流量 15 SCCM(周囲温度25℃)
10 SCCM(周囲温度30℃)
40 SCCM(周囲温度25℃)
30 SCCM(周囲温度35℃)
40 SCCM(周囲温度25℃)
30 SCCM(周囲温度45℃)
質量 ICF 5.0 kg 5.2 kg 5.1 kg
VG 3.3 kg 3.5 kg 3.4 kg
ISO 3.0 kg 3.2 kg 3.1 kg
KF 3.1 kg 3.3 kg 3.2 kg
軸受方式 磁気軸受、セラミック玉軸受
吸気口フランジ ICF114、VG65、ISO63K、KF40
排気口フランジ KF16
規定回転数 87,000 rpm
起動時間(80 %まで) 1.7分
取り付け方向 全方位
騒音[弊社測定方法による](注5) 48 dB(A)以下
許容磁束密度 半径方向 3 mT
軸方向 15 mT
電源 電圧 DC24 V ± 5 %
最大所要電力 120 W
(注1) ベーキングはICFフランジの強制空冷および水冷仕様時のみ実施可能です。
(注2) 補助ポンプに二段式油回転ポンプ(島津エミット社製)を使用した場合の値です。
(注3) 保護ネットなしの場合の値です。
 保護ネットを使用した場合のN2ガスに対する排気速度は68 L/sとなります。
(注4) 吸気口からの排気ガス流量0 mL/minの場合に連続運転可能な値です。
 
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