研究開発・一般産業排気用途

研究開発から一般産業分野まで、真空環境を必要とするさまざまな装置・設備の排気を支えるターボ分子ポンプ（TMP）をご紹介します。
分析・実験、精密加工、成膜・表面処理、電子部品製造など、幅広い用途に対応します。ポンプ本体と制御電源が一体となった、「電源一体型」である点もこのラインナップの特長です。

ターボ分子ポンプ ラインナップ

複合軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型

主要モデル：TMP-B300 / TMP-B70

TMP-B300形

TMP-B70形（空冷ファンはオプションです）

特長： 

• 磁気軸受とセラミック軸受との組合せ（複合軸受）
  独自のダンピング機構により、低振動と軸受け冷却機能を実現し、高い信頼性と長寿命を実現しました。
• 高背圧、高い水素圧縮比
  タービン翼とモレキュラドラッグポンプの複合により、高い背圧でも高真空排気が可能となりました。また、水素圧縮比はTMP-B70形で4×10⁵、TMP-B300形で1×10⁵を達成しました。
  ダイヤフラムポンプなど小型のドライ真空ポンプとの組み合わせで、超高真空も実現可能です。
• 低発熱モータ
  モータの発熱を低減することで軸受温度の上昇を抑え、長寿命を実現しました。
• 逆流防止ラビリンスシール（TMP-B300形）
  セラミック軸受けに使用されているグリース（基油）の拡散を防ぎクリーンな真空を実現しました。
• 制御電源(コントローラ)一体型
  ローカルでの起動・停止・リセット操作、RS485及びリモート接点信号による操作が可能です。
  PC用通信ソフトウェアを準備しています。DC24V入力です。
• 省電力
  新たに開発したパワーユニットや高効率モータを採用することにより消費電力を大幅に低減した環境負荷の低いシリーズです。
• 全方位取付可能
  垂直、水平、倒立取り付けが可能です。

磁気軸受型ターボ分子ポンプ 電源一体型

主要モデル：TMP-V04 X05シリーズ

特長： 

• ポンプ本体・制御電源（コントロ-ラ）一体型
  ポンプ本体下部に制御電源部を設置した一体型です。制御ケーブルが不要なため、設置が容易となっています。操作は、ローカルスイッチ（手動）とリモートが使えます。
• ネットワーク接続対応
  RS-232C及びRS-485準拠のシリアル通信ポートを装備し、TMPの起動／停止のほか、運転状況の監視、運転履歴の読み出しが可能です。
  オプションのモニタソフトウェアにより、RS-485通信では最大32台までのTMPを一台のコンピューターで監視できます。
  Profibus通信オプション品も選択可能です。