その他（大排気量ターボ分子ポンプ）

大流量ガス排気シリーズ

大流量ガス排気に対応できるラインナップです。研究開発・一般産業用途や、半導体製造装置においても不活性ガスを排気するスパッタリング装置等や、搬送室、ロードロック室の排気に使用されます。
冷却方法は水冷ですが、大流量のガス排気を行わない場合は、冷却方法が「空冷」を選択可能な機種があります。