改善・用途事例
素子
- 高品質な回折格子を安定供給してほしい。
・波長可変レーザーの出力を安定化 - 装置のレーザーを高出力化したい。
・レーザー加工機のミラー損傷を抑制
装置
- モードホップ・波長挙動を捉える。
・モードホップ抑制と、レーザー出力の安定化
・パルスレーザーのスペクトル測定
・単一周波数レーザーのサイドピーク抑制
・レーザースペクトルの温度特性評価 - 深紫外（DUV）レーザーや多波長レーザーの波長を検査する。
・多波長レーザー光源の連続試験（波長測定）
・266 nmレーザーの基本波～第4高調波のスペクトル測定
・エキシマレーザー（193 nm）や滅菌用光源（222 nm）の測定 - レーザーの光学調整や検査を短縮する。
・外部共振型レーザーの調整時間を短縮
・半導体レーザー（LD）の波長検査を自動化
・面発光レーザー（VCSEL）や自動運転向けセンサ（LiDAR）の波長の全数検査
