回折格子
- 高品質な回折格子を安定供給してほしい。
・光分析装置の検査不合格による手戻りを削減
・波長可変レーザーの出力を安定化
・厳しい温湿度環境に対応した回折格子
・生化学検査の測定精度を向上
光学素子
- 光をロスなく装置や検出器に入射したい。
・膜厚測定装置の測定時間の短縮 - 装置のレーザーを高出力化したい。
・レーザー加工機のミラー損傷を抑制
分光機器
レーザースペクトラムアナライザ SPG-V500
- モードホップ・波長挙動を捉える。
・モードホップ抑制と、レーザー出力の安定化
・パルスレーザーのスペクトル測定
・単一周波数レーザーのサイドピーク抑制
・レーザースペクトルの温度特性評価 - 深紫外（DUV）レーザーや多波長レーザーの波長を検査する。
・多波長レーザー光源の連続試験（波長測定）
・266 nmレーザーの基本波～第4高調波のスペクトル測定
・エキシマレーザー（193 nm）や滅菌用光源（222 nm）の測定 - レーザーの光学調整や検査を短縮する。
・外部共振型レーザーの調整時間を短縮
・半導体レーザー（LD）の波長検査を自動化
・面発光レーザー（VCSEL）や自動運転向けセンサ（LiDAR）の波長の全数検査