真空機器

真空蒸着装置・スパッタリング装置、プラズマCVD装置、真空排気装置等、各種成膜装置を製作しております。

堅牢でコンパクトなベアリングタイブのターボ分子ポンプとGDHシリーズのロータリーポンプを組み合わせた高真空排気セットです。空冷式なので真空装置への組み込み、研究設備への応用など高真空環境に必要な様々な用途に対応できます。