真空機器

エコロジー真空ポンプ

必要な圧力に応じて周波数を可変することにより省エネ運転ができます。

エコロジー真空ポンプ

真空装置

真空蒸着装置・スパッタリング装置、プラズマCVD装置、真空排気装置等、各種成膜装置を製作しております。

真空装置

高真空排気セット

堅牢でコンパクトなベアリングタイブのターボ分子ポンプとGDHシリーズのロータリーポンプを組み合わせた高真空排気セットです。空冷式なので真空装置への組み込み、研究設備への応用など高真空環境に必要な様々な用途に対応できます。

高真空排気セット

製品情報

油回転真空ポンプ