メンテナンスサービスについてのお問い合わせは、最寄りの営業拠点もしくは品質保証部にて承ります。
東京支社 | TEL:03-3219-5885 |
---|---|
関西支社 | TEL:06-6373-6605 |
品質保証部 | TEL:0463-88-8812 |
なお、下記製品のメンテナンスサービスは島津産機システムズ株式会社にて承ります。
プラズマCVD装置 : SLPCシリーズ、PCVDシリーズ、MCXSシリーズ
太陽電池セル検査装置 : SCIシリーズ
レーザCVD装置 : LACVDシリーズ
複合形薄膜形成装置 : SLCMシリーズ
液晶注入装置 : ALISシリーズ