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PRODUCT 真空機器/FPD製造装置
 
メンテナンスサービス
メンテナンスサービスについてのお問い合わせは、最寄りの営業拠点もしくは品質保証部にて承ります。
東京支社 TEL:03-3219-5885
関西支社 TEL:06-6373-6605
品質保証部 TEL:0463-88-8812
なお、下記製品のメンテナンスサービスは島津産機システムズ株式会社にて承ります。
プラズマCVD装置 : SLPCシリーズ、PCVDシリーズ、MCXSシリーズ
太陽電池セル検査装置 : SCIシリーズ
レーザCVD装置 : LACVDシリーズ
複合形薄膜形成装置 : SLCMシリーズ
液晶注入装置 : ALISシリーズ
 
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