高真空排気セット高真空排気セット EHVシリーズ EHV-B300

  • 堅牢でコンパクトなベアリングタイブのターボ分子ポンプとGDHシリーズのロータリーポンプを組み合わせた高真空排気セットです。
  • 空冷式なので真空装置への組み込み、研究設備への応用など高真空環境に必要な様々な用途に対応できますので、ぜひご相談ください。
<特長>
  1. コンパクト設計
  2. 簡単操作RUNボタンをワンプッシュで自動排気
  3. 外部からのリモート操作が可能
  4. 装置への組み込み使用にも最適
  5. TMP背圧保護機能付
  6. 拡張性により外部機器の操作・モニタが可能

※写真はオプション:強制空冷仕様

装置外形寸法 W500×D550×H490mm(キャスタ付架台)
仕様 到達圧力(参考値) 10E-6Paオーダー
主ポンプ 空冷式ターボ分子ポンプ TMP-B300(島津製作所)
排気速度 280L/s (N2)
補助ポンプ 油回転真空ポンプ GDH-162(島津エミット)
排気速度 135L/min(50Hz) 160L/min(60Hz)
背圧監視 TMPの背圧監視モニタ付
操作モード 内部・外部操作の切換えが可能
ユーテリティー 電源単相 100V 50/60Hz 1kVA)
オプション品
  • ポンプリークバルブ (付属のTLVは停電時に閉まります。停電対策としてご使用下さい。)
  • オイルミストセパレータ
  • TMP強制空冷仕様
  • TMPベーキングヒータ
  • ドライポンプ