HSR-351L (ロードロック式)
HSR-351
形成膜 | 金属材料、絶縁物 |
---|---|
膜圧分布 | 回転時 φ100mm内±5%以内 |
静止時 φ40mm内±10%以内 | |
スパッタ方式 | デポアップ |
電極間距離 | 70~110mm |
ターゲットホルダー | φ2インチ×3 |
ヒーター | MAX300℃ |
基板回転 | MAX20rpm |
ガス導入系 | Ar用MFC 1系統 |
高周波電源 | 13.56MHz 200W |
HSR-351L (ロードロック式)
HSR-351
形成膜 | 金属材料、絶縁物 |
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膜圧分布 | 回転時 φ100mm内±5%以内 |
静止時 φ40mm内±10%以内 | |
スパッタ方式 | デポアップ |
電極間距離 | 70~110mm |
ターゲットホルダー | φ2インチ×3 |
ヒーター | MAX300℃ |
基板回転 | MAX20rpm |
ガス導入系 | Ar用MFC 1系統 |
高周波電源 | 13.56MHz 200W |