真空装置 卓上型全自動制御真空蒸着装置

簡単な機構で、どなたにでも手軽に操作ができ、本格的な真空蒸着が行えます。理化学実験用、表面分析資料作成用、小規模生産用など広い分野でご利用いただけます。 (写真のSUSベルジャーはオプションです。)

蒸着性能 形成膜 金属等
膜厚分布 ø50mm area±5%
ø100mm area±10%
蒸着方式 抵抗加熱方式
蒸着電源 AC10V 100A(Max)
蒸着制御 電圧制御
ボート切替器 別置き
基板性能 サイズ ø100mm以下
回転機構 無し
排気性能 主ポンプ ターボ分子ポンプ(50 L/s)
補助ポンプ 油回転真空ポンプ(160L/min)
到達圧力 1.0E-4Pa order(1 hour)
ポンプ排気 許容排気口圧力 20kPaG以下
電 源 AC200V、1ø、50 / 60Hz、1.7KVA(1 電源)
AC200V、1ø、50 / 60Hz、2.7KVA(2 電源)
アース D種接地
重 量 装置本体 : 48kg
油回転真空ポンプ : 25kg
蒸着電源 : 26kg
ボート切替器 : 4kg
設置面積 本体 : W400×D400×H670mm(ベルジャ ø250×H330)
蒸着電源 : W260×D415×H320mm
ボート切替器 : W200×D320×H115mm
オプション SUS ベルジャ
膜厚モニター
ボート切替器

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