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PRODUCT 真空機器/FPD製造装置
 
高速スパッタリング装置
  高速スパッタリング装置 UHSP-OP2060
常識を覆す、樹脂への高密着性
HUDミラーなど車載用光学部品の大型化・量産化に対応
(HUD:ヘッドアップディスプレー)
 
高速スパッタリング装置
大型HUDミラーへの対応
次世代HUDに対応する大型ミラー(400×180mm)の量産が可能

業界最高のスループット/生産性
汎用的なミラーサイズ(200×80)を4枚/2分で生産

ポリカーボネート樹脂(PC)への高密着性
光学用樹脂(COP)に加え、PC樹脂でも過酷な環境試験をクリア
大型HUDミラー対応
次世代で採用が予定される400×180mmの大型ミラーにも対応。 大型HUDミラー対応
 
高スループット/生産性 高速スパッタリング装置
HUDミラー(200×80)1個あたり約30sec以下と、従来比2倍の高い生産性を実現。低コストでの量産が可能。
ミラーサイズ 従来機 UHSP-OP2060
200×80 処理数 2枚 4枚
タクト(1バッチ) 120sec 120sec
タクト(1枚当たり) 60sec 30sec
400×180 処理数 対応不可 1枚
 
PC樹脂への高密着性
独自の下処理技術により、PC樹脂にて過酷な環境試験をクリア。ミラー大型化での材料コスト低減に寄与。
テスト 評価基準
密着性評価 テープテスト
高温試験 105℃×200hr
恒温恒湿試験 85℃85%×1000hr
ヒートショック試験 85℃/-40℃×1000回
 
ミラー膜への適用
[アルミ膜] [アルミ膜+増反射膜]
装置1台で樹脂基板(ワーク)へ下処理後にアルミ膜+保護膜を成膜します。 装置2台を使い、樹脂基板(ワーク)へ下処理後にアルミ膜+増反射膜+保護膜を成膜します。
アルミ膜 アルミ+増反射膜
[光学特性]
光学特性
 
成形機とのインライン自動化/省人化
成形機との連動によるインライン自動生産に対応。成形直後に成膜することで、膜質の向上・高密着性にも寄与。 成形機とのインライン自動化/省人化
 
IoT機能とタブレット端末により操作性向上
高速スパッタリング装置
 
基本仕様
用途 ミラー膜、光学膜、加飾膜
ワーク 最大寸法(成膜有効エリア) W200 × L400 × H50mm
材質 PC、COP、COC、PMMA等
成膜材料 スパッタ膜(ターゲット)/プロセスガス Al、NbOx / Ar、O2
重合膜/材料 SiOx / HMDSO
    (ヘキサメチルジシロキサン)
ミラー性能等 アルミ単膜 反射率
タクトタイム
装置構成
88%(波長550nm)
120秒
UHSP-OP2060 × 1台
アルミ膜+増反射膜 反射率
タクトタイム
装置構成
95%(波長550nm)
120秒
UHSP-OP2060 × 2台
 
外形寸法
外形寸法
 
動画
 
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