Ag合金のミラー応用
合金材料と保護膜の適用により高い反射率と環境性能の高い膜を実現しました。
ポリゴンミラー形状の樹脂製ワークにAg合金+SiO₂保護膜を成膜(ワーク回転無、ステージ直置き)
- 反射率は4面とも96 %以上(入射角30°/平均偏向)
- クロスカットでのテープ剥離なし
- 恒温恒湿試験(85 ℃、85 %、500 Hr)後にて外観異常なし
合金材料と保護膜の適用により高い反射率と環境性能の高い膜を実現しました。
ポリゴンミラー形状の樹脂製ワークにAg合金+SiO₂保護膜を成膜(ワーク回転無、ステージ直置き)