高速スパッタリング装置高速スパッタ 装置

立体樹脂成形品(プラスチック製品)への金属膜・酸化膜を成膜するために開発された装置です。
被覆性・密着性良く金属膜、酸化膜を高速で成膜することが可能です。

製品の特長

  • 高速成膜
    ハイパワーのスパッタ手法により短時間での成膜処理が可能です
    -高速タクトにより成形機との連動による自動化プロセスを実現します
  • 高密着性
    同一チャンバ内でプラズマトリートメントによる前処理を行うことで、高い密着性を発揮します
  • 高被覆性
    一般的なスパッタ・蒸着よりも高い圧力領域で処理することにより、立体・複雑形状のワーク  に対し付きまわりの良好な成膜が可能です
  • 省エネ
    大型バッチ蒸着装置に比べ、待機電力が小さく、省エネに繋がります

対応アプリケーション

UHSP-T2040H

UHSP-T2040
ワークサイズ:180x320mm

UHSP-OP2060

UHSP-OP2060
ワークサイズ:200x480mm

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