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波長に応じて分光器タイプと検出器を選択し、測定する光学特性(発光・透過・反射)に応じてオプションや市販品を組み合わせることで、各種光学特性の測定が可能です。また蒸着装置と組合せて、基板上に蒸着された光学薄膜の膜厚変化をモニタできます。