小形分光器スペクトロメイトSPG-120シリーズ
分光分析

概要

小形分光器スペクトロメイトSPG-120シリーズと市販品を組み合せることで、各種光学特性の測定が可能です。測定波長に対応した分光器と検出器を選択し、光学特性（発光・透過・反射）に応じてオプションや市販品を組み合わせてシステムを構築します。
蒸着装置と組合せて、基板上に蒸着された光学薄膜の膜厚変化をモニタできます。
高速波長駆動・高耐久なSPG-120-REVを製造装置や工程内検査装置に採用することで、故障によるダウンタイムの大幅削減や、測定時間の短縮を実現します。

システム構成例

大面積光学素子、光検出素子、イメージセンサ、蛍光材料、液晶ディスプレイ、膜厚モニタ、プラズマ発光モニタ 等

分光分析の構成

発光特性の測定

透過・反射特性の測定

蒸着装置の膜厚モニタ