概要
ハロゲンランプの白色光を蒸着装置内のモニタ基板に照射し、その反射光をSPG-120シリーズで分光し、特定波長の光強度をホトダイオードで検出し時間変化をモニタする構成です。時間変化の記録にはコントロールアンプのアナログ出力を利用して市販のデータロガーで行います。モニタ基板上に蒸着された光学薄膜の膜厚に応じた反射光強度の変化をモニタできます。
構成（SPG-120S-REVの場合）
| 部品番号（P/N） | 名 称 |
|---|---|
| 691-05670-01 | SPG-120S-REV フィルタチェンジャセット |
| 691-05147-□□ | スリット ※2個必要 |
| 691-06737-□□ | 次数分離フィルタ |
| 691-06550 | コントロールアンプAT-120AP |
| 691-06477-04 | チョッパユニット AT-120CH |
| 691-06490 | ホトダイオードホルダ AT-120PD |
| 691-06181 | ハロゲンランプユニット AT-100HG（可視・赤外域用） |
| 691-06411 | ハロゲンランプスタンド |
| 088-50666-07 | USB対応GP-IBコントローラ |
| 691-06379 | 光学ベンチセット |
他社購入品
| モータコントローラ | SHOT-702H | シグマ光機 | |
|---|---|---|---|
| USB2.0ケーブル | TypeAオス-TypeBオス | (メーカー不問) | |
※蒸着装置・光学系・集光光学系・データロガーは別途必要です。