最適な分光器をスピード提供
ご要望に合う光学仕様にアレンジしたデモ機で仕様検証を速やかに完了
島津製作所は、長年にわたり回折格子および分光器を開発・製造してきました。
その分光技術を活かし、お客様のご用途に応じた最適な分光器を実現します。ベース機をもとにカスタマイズするため、最適設計の特注分光器を迅速に提供します。
研究開発・実験から装置への組込まで幅広い用途に使用可能です。
分光器のお困りごとを「最適な分光器」で解決
分光器について、以下のような課題はありませんか？
最適な光学仕様にアレンジした分光器を迅速に提供することで、これらの課題解決を支援します。
既に分光器をお使いの場合はもちろん、これから分光器を導入したい場合のご相談も承ります。
- やりたいことにマッチする分光器が見つからない
- 波長範囲や分解能が希望する条件にあと一歩及ばない
- 使用中の分光器のモデルチェンジが頻繁にあり、対応に追われている
- 特注品がほしいが、仕様調整や設計に時間がかかる
- 分光器を導入したいが、条件が明確になっておらず、問い合わせもしづらい
分光器ご提供までの流れ
1．ご要望に合ったデモ機を準備（最短2週間～）
様々な波長範囲と分解能に対応したベース機をもとに、お伺いしたニーズに応じて技術者が最適な光学仕様を提案します。ご要望に合ったデモ機を最短2週間程度でお渡しします。
2．デモ機でのご評価・仕様調整
デモ機での初期評価を実施いただきます。評価の結果、調整が必要な場合は、光学仕様を再度カスタムします。必要に応じてデモ機での再評価を実施いただき、仕様を確定させます。
3．分光器のご提供
確定した仕様で分光器を製作し、ご提供します。
ベース機の種類
分光器は、大きくポリクロメータ式とモノクロメータ式に分類され、特長が異なります。
ベース機には両方のタイプを取りそろえています。
ポリクロメータ
回折格子で分光した光をイメージセンサで取得するため、スペクトルを同時かつ高速に取得できます。回折格子が固定されており、波長再現性に優れています。
対応可能範囲
| 波長範囲 | 185～1700 nm |
|---|---|
| 波長分解能 | 0.002 nm ～ |
モノクロメータ
回折格子で分光した光のうち、任意の1波長を取得します。回折格子を動かすことで取り出す波長を変えることができ、波長スキャンによって広い波長域のスペクトルを取得できます。
対応可能範囲
| 波長範囲 | 190～2500 nm |
|---|---|
| 波長分解能 | 1.0 nm ～ |
ベース機ラインアップの詳細は、下記よりお問い合わせください
カスタマイズ性
波長範囲・波長分解能・感度をご用途に合うようにカスタマイズします。
これらの仕様は、回折格子の溝本数、センサ種類、入口スリット幅、分光配置といった条件の組合せで決まります。
島津製作所では、回折格子を設計・製造しており、幅広いご要望に対応可能です。
回折格子のみのご購入も可能です。
用途事例
透過率・反射率のような分光特性測定のほか、半導体エッチング装置のエンドポイントモニタや膜厚測定装置などの組み込み用途にも使用できます。検査装置を構成する分光ユニットとしてもご活用いただけます。
半導体エッチング装置のエンドポイントモニタ
Roll to Rollの膜厚測定