装置メンテナンスから装置組込用途まで幅広く対応する、
クリーンルームに最適な非接触型構造ドライポンプ搭載型の可搬形汎用機です。
性能・仕様
| 検出感度 | 10-13～100Pa・m3/s［He］ |
|---|---|
| 検出ガス | 水素/ヘリウム |
| 分析管 | 270°偏向形（磁場偏向磁束密度0.17T） イットリアコートイリジウムフィラメント（2本内蔵） 温度補正付自動チューニング感度校正 |
| 真空系 | モレキュラードラッグポンプ（排気構造 70L/s） 非接触型構造ドライ真空ポンプ(250L/min) ピラニ真空計（2系統） |
| テストポート | 最大圧力 1000Pa 接続口 NW25KF ヘリウム排気速度 3L/s |
| 質量 | 本体 約68kg(MSE-2402),96kg(MSE-2403) |
| 電源 | 単相 AC100/110/115/120/200/220/230/240V ±10%, 50-60Hz, 700VA のいずれかをオーダ時に一つ指定 |
| 入出力 | RS-232Cインターフェイス EXT-UNITインターフェイス（外部ユニット） |
外形寸法 MSE-2402
外形寸法 MSE-2403
