島津質量分析計型全自動可搬形 ドライ型ヘリウムリークディテクタMSE-2402/2403

装置メンテナンスから装置組込用途まで幅広く対応する、
クリーンルームに最適な非接触型構造ドライポンプ搭載型の可搬形汎用機です。

 

性能・仕様

検出感度 10-13~100Pa・m3/s[He]
検出ガス 水素/ヘリウム
分析管 270°偏向形(磁場偏向磁束密度0.17T)
イットリアコートイリジウムフィラメント(2本内蔵)
温度補正付自動チューニング感度校正
真空系 モレキュラードラッグポンプ(排気構造 70L/s)
非接触型構造ドライ真空ポンプ(250L/min)
ピラニ真空計(2系統)
テストポート 最大圧力 1000Pa
接続口 NW25KF
ヘリウム排気速度 3L/s
質量 本体 約68kg(MSE-2402),96kg(MSE-2403)
電源 単相 AC100/110/115/120/200/220/230/240V
±10%, 50-60Hz, 700VA
のいずれかをオーダ時に一つ指定
入出力 RS-232Cインターフェイス
EXT-UNITインターフェイス(外部ユニット)

 

外形寸法 MSE-2402

外形寸法 MSE-2403