装置メンテナンスから装置組込用途まで幅広く対応する、
クリーンルームに最適な非接触型構造ドライポンプ内蔵型のコンパクトな可搬形汎用機です。
性能・仕様
| 検出感度 | 10-13～100Pa・m3/s［He］、10-9～100Pa･m3/s[H₂] |
|---|---|
| 検出ガス | ヘリウム / 水素 |
| 分析管 | 270°偏向形（磁場偏向磁束密度0.17T） イットリアコートイリジウムフィラメント（2本内蔵） 温度補正自動チューニング感度校正 |
| 真空系 | モレキュラードラッグポンプ（排気構造 70L/s） 非接触型構造ドライ真空ポンプ（110L/min） ピラニ真空計（2系統） |
| テストポート | 最大圧力 1000Pa 接続口 NW25KF ヘリウム排気速度 5.2L/s |
| 質量 | 本体 約58kg |
| 電源 | AC100/110/120/200/220/230/240V ±10%、50/60Hz、700VA のいずれかをオーダ時に一つ指定 |
| 入出力 | RS-232C / RS-485 インターフェース EXT-UNITインターフェイス（外部ユニット） I/O（入力:4点、出力12点 NPN/PNP選択可） |
外形寸法
