ボンビング法による半導体・電子部品である水晶振動子、
SAWフィルターや光通信デバイスのパッケージの気密試験用インライン検査機です
性能・仕様
| 検出感度 | 10-13～100Pa・m3/s［He］ |
|---|---|
| 合否判定リーク量 | 2.5×10-10Pa・m3/s［He］ |
| タクトタイム | 6秒台（乾燥窒素ベント時） |
| 分析管 | 270°偏向形（磁場偏向磁束密度0.17T） イットリアコートイリジウムフィラメント（2本内蔵） 温度補正付自動チューニング感度校正 |
| 真空系 | モレキュラードラッグポンプ（排気構造 70L/s） 油回転真空ポンプ（30L/min 50Hz） 大容量油回転真空ポンプ（1080L/min 50Hz） ピラニ真空計（2系統） |
| テストチェンバ | 300cc［Φ80×H60］（試料カゴ付） |
| 質量 | 本体 約260kg |
| 電源 | 三相 AC200V±10％ 50/60Hz、3.0kVA |
| 入出力 | RS-232Cインターフェイス EXT-UNITインターフェイス（外部ユニット） |
外形寸法
