島津質量分析計型電子デバイス専用 ヘリウムリークディテクタMSE-4400

MSE-4400

ボンビング法による半導体・電子部品である水晶振動子、
SAWフィルターや光通信デバイスのパッケージの気密試験用インライン検査機です

 

性能・仕様

検出感度 10-13~100Pa・m3/s[He]
合否判定リーク量 2.5×10-10Pa・m3/s[He]
タクトタイム 6秒台(乾燥窒素ベント時)
分析管 270°偏向形(磁場偏向磁束密度0.17T)
イットリアコートイリジウムフィラメント(2本内蔵)
温度補正付自動チューニング感度校正
真空系 モレキュラードラッグポンプ(排気構造 70L/s)
油回転真空ポンプ(30L/min 50Hz)
大容量油回転真空ポンプ(1080L/min 50Hz)
ピラニ真空計(2系統)
テストチェンバ 300cc[Φ80×H60](試料カゴ付)
質量 本体 約260kg
電源 三相 AC200V±10% 50/60Hz、3.0kVA
入出力 RS-232Cインターフェイス
EXT-UNITインターフェイス(外部ユニット)

外形寸法