MSE-2400によるリークテストの応用例
安全かつ簡単に微少リークを検出する質量分析計型 水素・リークディテクタ
真空吹付け法(スプレー法)
- 試験体内部を真空に排気し外部より水素、もしくはヘリウムを吹き付け、漏れ箇所より進入した水素、もしくはヘリウムを検出測定します。
- 溶接配管、フレキシブルチューブ、ハーメチックシール等のリークテストに使用します。
真空外覆法(真空フード法)
- 水素、もしくはヘリウムを詰めたビニール袋で覆った試験体を真空排気し、漏れ箇所より入った水素、もしくはヘリウムを検出・測定します。
- マスフローコントローラー等のリークテストに使用します。
吹込み法(スニッファー法)
- 強度あるいはその他の理由で試験体が真空に排気できない場合、試験体内部に水素、もしくはヘリウム（またはヘリウムと他のガスの混合気体）を加圧圧入し、漏れ個所から流出する水素、もしくはヘリウムをプローブで吸入し検出・測定します。
- コンプレッサ、熱交換器、コンデンサ等のリークテストに使用します。
※ オプションのスニッファユニットが必要です。
浸せき法(ボンビング法)
- あらかじめボンビング装置を用いヘリウムを加圧した試験体をチャンバー内に入れ、真空差圧にて流出したヘリウムを検出・測定します。気密封止された小型量産部品のリークテストに用います。
- 水晶振動子、SAWフィルター等のリークテストに使用します。
※ テストチャンバーとボンビング装置が必要です。
真空容器法(ベルジャー法)
- ベルジャーまたはチャンバー内にあらかじめ水素、もしくはヘリウムを封入した試験体を入れ、粗引きポンプで真空排気した後リークディテクタに接続し、漏れ箇所より流出した水素、もしくはヘリウムを検出・測定します。
- 消火器、エアバック用インフレーター等のリークテストに使用します。
並列排気によるリークテスト
- ドライポンプやターボ分子ポンプなどの真空ポンプを用い、内容積の大きなチャンバー・真空応用装置等のリークディテクタ単体では真空排気できない試験体を検査する際に用います。
- 真空蒸着装置、吸収式冷凍機、真空炉等のメンテナンスに使用します。
※ ワイヤレスリークインジケーターはオプションです。
