仕様
温度設定範囲 | −40℃~+80℃ |
---|---|
温度制御精度 | ±0.2℃ |
試料の温度分布 | ±0.5℃以内 |
連続使用時間 | 8時間 / −40℃ |
チャンバー形状 | 円筒型(φ140mm×L305mm) |
試料容器材料 | C1100 |
窓板材料 | 溶融石英 |
熱交換材 | カッパウール |
試料測温センサ | アルメル-クロメル(制御用) 銅-コンスタンタン(試料測温用) |
試料容器のリーク量 | 1×10-9 atm cc/sec以下 |
液体窒素容器 | 容量 30L |
温度コントローラー | 冷却制御(マスフローコントローラー・電子制御PID) 加熱制御(4~20mA電流制御PID) |
ポンプ | ダイヤフラムポンプ(液体窒素フロー用15ℓ/min) ロータリーポンプ(断熱真空層真空排気用50ℓ/min) |
電源 | AC100V 50/60Hz 10A |