精密格子板 特性
精密格子板/製作工程
精密格子板の製作工程
精密格子板の実測例
以下に測定例を示します。
精密格子板のSEM写真
レプリカタイプ
| 溝本数 | 1000本/mm |
|---|---|
| 溝深さ | 100nm |
| デューティー比 | 0.5 |
| C/N | R-100-100-100 |
精密格子板の断面SEM写真
オリジナルタイプ
| 溝本数 | 1000本/mm |
|---|---|
| 溝深さ | 100nm |
| デューティー比 | 0.5 |
| C/N | O-100-100-1000 |
精密格子板の触針式表面形状測定装置による断面形状
レプリカタイプ
| 溝本数 | 500本/mm |
|---|---|
| 溝深さ | 100nm |
| デューティー比 | 0.5 |
| C/N | R-050-100-100 |