回折格子(Gratings:グレーティング)精密格子板

精密格子板 特性

精密格子板/製作工程

精密格子板の製作工程

精密格子板の製作工程

精密格子板の実測例

以下に測定例を示します。

精密格子板のSEM写真

精密格子板のSEM写真

レプリカタイプ
溝本数 1000本/mm
溝深さ 100nm
デューティー比 0.5
C/N R-100-100-100
精密格子板の断面SEM写真

精密格子板の断面SEM写真

オリジナルタイプ
溝本数 1000本/mm
溝深さ 100nm
デューティー比 0.5
C/N O-100-100-1000
精密格子板の触針式表面形状測定装置による断面形状

精密格子板の触針式表面形状測定装置による断面形状

レプリカタイプ
溝本数 500本/mm
溝深さ 100nm
デューティー比 0.5
C/N R-050-100-100

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