PRECISION GRID PLATE
精密格子板はホログラフィック露光法による優れた周期性とイオンエッチング技術による正確な溝深さ制御を応用して開発されたもので、表面形状測定や超精密測定のリファレンスとしてご使用いただけます。
標準品リスト
規格/コード対応表
精密格子板は、溝本数、溝深さ、外形寸法の標準規格に基づいた一連のコード番号（C/N）の組合わせで表されます。ご注文の際は、コード番号（C/N）にてご指定ください。
| 種別 | 溝本数 | 溝深さ | 外形寸法 |
|---|---|---|---|
| Aコード | Bコード | Cコード | Dコード |
A、B、C、Dのコード表は表1、表2、表3、表4をご覧ください。
コード番号例
例 レプリカタイプ 溝本数：333.3本/mm、
溝深さ 50nm、10(W)×10(H)×3.0(T)mmの場合
C/N R-033-050-100
表1 レプリカ種別
| Aコード | R |
|---|---|
| レプリカタイプ |
表2 標準溝本数
| Bコード | 033 | 100 |
|---|---|---|
| 溝本数 | 333.3本/mm | 1000本/mm |
表3 標準溝深さ
| Cコード | 050 | 100 |
|---|---|---|
| 溝深さ | 50nm | 100nm |
表4 標準外形寸法
| Dコード | 100 | 200 |
|---|---|---|
| W（幅） | 10mm | 20mm |
| H（高さ） | 10mm | 20mm |
| T（厚さ） | 3.0mm | 3.0mm |
| 有効領域 | 6×6mm | 16×16mm |
- ※ダイシング装置にて切断しているためエッジチッピングがあります。
標準規格
| 種別 | 溝本数 | 溝深さ | 外形寸法 (mm) | コード番号 (C/N) | 部品番号 (P/N) |
|---|---|---|---|---|---|
| レプリカ タイプ | 333.3本 /mm |
50nm | 10×10×3 | R-033-050-100 | 209-56450-01 |
| 20×20×3 | R-033-050-200 | 209-56452-01 | |||
| 1000本 /mm |
50nm | 10×10×3 | R-100-050-100 | 209-56458-01 | |
| 20×20×3 | R-100-050-200 | 209-56460-01 | |||
| 100nm | 10×10×3 | R-100-100-100 | 209-56459-01 | ||
| 20×20×3 | R-100-100-200 | 209-56461-01 |
- ※:外観および仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
特性
精密格子板/製作工程
精密格子板の製作工程
精密格子板の実測例
以下に測定例を示します。
精密格子板のSEM写真
レプリカタイプ
| 溝本数 | 1000本/mm |
|---|---|
| 溝深さ | 100nm |
| デューティー比 | 0.5 |
| C/N | R-100-100-100 |
精密格子板の断面SEM写真
オリジナルタイプ
| 溝本数 | 1000本/mm |
|---|---|
| 溝深さ | 100nm |
| デューティー比 | 0.5 |
| C/N | O-100-100-1000 |
精密格子板の触針式表面形状測定装置による断面形状
レプリカタイプ
| 溝本数 | 500本/mm |
|---|---|
| 溝深さ | 100nm |
| デューティー比 | 0.5 |
| C/N | R-050-100-100 |
仕様
標準規格
島津精密格子板は、レプリカタイプ、溝深さ、外形寸法の標準規格に基づいた一連のコード番号（C/N）の組合わせで表されます。ご注文の際は、コード番号（C/N）にてご指定ください。
| 外形仕様 | 幅（W）、高さ（H）の寸法公差 ： ±0.2mm 厚さ（T）の寸法公差 ： ±0.5mm |
|---|---|
| ブランク材質 | レプリカタイプ ： ソーダガラス |
| 格子仕様 | 格子溝 ： 等間隔平行溝 溝本数公差 ： ±0.5本/mm 溝深さ公差 ： ±20nm デューティ比 ： 0.5±0.2 キズ ： 80-50 （MIL-O-13830A準拠） |
外形図
精密格子板の形状
特別仕様
- 標準仕様以外に、格子面に以下の蒸着をいたします。
＜種類＞1.Aｌ（アルミニウム）、2.Au（金） - 標準規格以外の溝本数、溝深さ、外形寸法についてもご相談に応じます。
- ※:外観および仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
