精密格子板

PRECISION GRID PLATE

精密格子板

精密格子板はホログラフィック露光法による優れた周期性とイオンエッチング技術による正確な溝深さ制御を応用して開発されたもので、表面形状測定や超精密測定のリファレンスとしてご使用いただけます。オリジナルタイプとレプリカタイプの両方を取り揃えています。

標準品リスト

規格/コード対応表

島津平面ブレーズド ホログラフィック 回折格子は、溝本数、ブレーズ波長、外形寸法の標準規格に基づいた一連のコード番号(C/N)の組合わせで表されます。ご注文の際は、コード番号(C/N)にてご指定ください。

種別
溝本数
溝深さ
外形寸法
Aコード
-
Bコード
-
Cコード
-
Dコード
A、B、C、Dのコード表は表1、表2、表3、表4をご覧ください。
コード番号例
●例
オリジナルタイプ 溝本数:333.3本/mm、
溝深さ 50nm、10(W)×10(H)×3.0(T)mmの場合
C/N O-033-050-100

●表1 オリジナル、レプリカ種別
Aコード (※)O R
オリジナルタイプ レプリカタイプ

※ BK7ガラスに直接刻線したタイプです。

●表2 標準溝本数
Bコード 033 050 100
溝本数 333.3本/mm 500本/mm 1000本/mm
●表3 標準溝深さ
Cコード 050 100
溝深さ 50nm 100nm
●表4 標準外形寸法
Dコード 100 200
W(幅) 10nm 20nm
H(高さ) 10mm 20mm
T(厚さ) 3.0mm 3.0mm
有効領域 6×6mm 16×16mm

カットアップタイプですので側面が破断面状になります。

標準規格
種別 溝本数 溝深さ 外形寸法 (mm) コード番号 (C/N) 部品番号 (P/N)
オリジナル
タイプ
333.3本
/mm
50nm 10×10×3 O-033-050-100 209-56400-01
20×20×3 O-033-050-200 209-56402-01
100nm 10×10×3 O-033-100-100 209-56401-01
20×20×3 O-033-100-200 209-56403-01
500本
/mm
50nm 10×10×3 O-050-050-100 209-56404-01
20×20×3 O-050-050-200 209-56406-01
100nm 10×10×3 O-050-100-100 209-56405-01
20×20×3 O-050-100-200 209-56407-01
1000本
/mm
50nm 10×10×3 O-100-050-100 209-56408-01
20×20×3 O-100-050-200 209-56410-01
100nm 10×10×3 O-100-100-100 209-56409-01
20×20×3 O-100-100-200 209-56411-01
レプリカ
タイプ
333.3本
/mm
50nm 10×10×3 R-033-050-100 209-56450-01
20×20×3 R-033-050-200 209-56452-01
1000本
/mm
50nm 10×10×3 R-100-050-100 209-56458-01
20×20×3 R-100-050-200 209-56460-01
100nm 10×10×3 R-100-100-100 209-56459-01
20×20×3 R-100-100-200 209-56461-01

※外観および仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

仕様

標準規格

島津精密格子板は、オリジナルタイプとレプリカタイプの種別、溝深さ、外形寸法の標準規格に基づいた一連のコード番号(C/N)の組合わせで表されます。ご注文の際は、コード番号(C/N)にてご指定ください。

外形仕様
幅(W)、高さ(H)の寸法公差 ±1.0mm
厚さ(T)の寸法公差 ±0.5mm
ブランク材質
オリジナルタイプ BK7
レプリカタイプ ソーダガラス
格子仕様
格子溝 等間隔平行溝
溝本数公差 ±0.5本/mm
溝深さ公差 ±20nm
デューティ比 0.5±0.2
キズ 80-50
(MIL-O-13830A準拠)    
温度条件
オリジナルタイプ 0℃以上 150℃以下
レプリカタイプ 0℃以上 50℃以下
湿度条件 80%以下(0℃以上50℃以下の範囲において)

外形図

精密格子板の形状
精密格子板の形状
特別仕様
  1. 標準仕様以外に、格子面に以下の蒸着をいたします。
    <種類>1.Al(アルミニウム)、2.Au(金)
  2. 標準規格以外の溝本数、溝深さ、外形寸法についてもご相談に応じます。
  3. 標準仕様以外の溝深さ公差については、±10nmまでご相談に応じます。(ただし、オリジナルタイプのみ)
※外観および仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

精密格子板 特性

精密格子板/製作工程
精密格子板の製作工程
精密格子板の製作工程
精密格子板の実測例

以下に測定例を示します。

精密格子板のSEM写真
精密格子板のSEM写真
レプリカタイプ
溝本数
:1000本/mm
溝深さ
:100nm
デューティー比
:0.5
C/N
:R-100-100-100
精密格子板の断面SEM写真
精密格子板の断面SEM写真
オリジナルタイプ
溝本数
: 1000本/mm
溝深さ
: 100nm
デューティー比
: 0.5
C/N
:O-100-100-100
精密格子板の触針式表面形状測定装置による断面形状
精密格子板の触針式表面形状測定装置による断面形状
レプリカタイプ
溝本数
:500本/mm
溝深さ
:100nm
デューティー比
:0.5
C/N
:R-050-100-100

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