回折格子(Gratings:グレーティング)精密格子板

PRECISION GRID PLATE

精密格子板

精密格子板はホログラフィック露光法による優れた周期性とイオンエッチング技術による正確な溝深さ制御を応用して開発されたもので、表面形状測定や超精密測定のリファレンスとしてご使用いただけます。

標準品リスト

規格/コード対応表

精密格子板は、溝本数、溝深さ、外形寸法の標準規格に基づいた一連のコード番号(C/N)の組合わせで表されます。ご注文の際は、コード番号(C/N)にてご指定ください。

種別 溝本数 溝深さ 外形寸法
Aコード Bコード Cコード Dコード

A、B、C、Dのコード表は表1、表2、表3、表4をご覧ください。

コード番号例

例  レプリカタイプ 溝本数:333.3本/mm、
溝深さ 50nm、10(W)×10(H)×3.0(T)mmの場合
C/N R-033-050-100

表1  レプリカ種別

Aコード R
レプリカタイプ

表2  標準溝本数

Bコード 033 100
溝本数 333.3本/mm 1000本/mm

表3  標準溝深さ

Cコード 050 100
溝深さ 50nm 100nm

表4  標準外形寸法

Dコード 100 200
W(幅) 10nm 20nm
H(高さ) 10mm 20mm
T(厚さ) 3.0mm 3.0mm
有効領域 6×6mm 16×16mm
  • ※ダイシング装置にて切断しているためエッジチッピングがあります。

標準規格

種別 溝本数 溝深さ 外形寸法 (mm) コード番号 (C/N) 部品番号 (P/N)
レプリカ タイプ 333.3本
/mm
50nm 10×10×3 R-033-050-100 209-56450-01
20×20×3 R-033-050-200 209-56452-01
1000本
/mm
50nm 10×10×3 R-100-050-100 209-56458-01
20×20×3 R-100-050-200 209-56460-01
100nm 10×10×3 R-100-100-100 209-56459-01
20×20×3 R-100-100-200 209-56461-01
  • ※:外観および仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

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