小形分光器スペクトロメイトSPG-120シリーズとは、容易なシステムの構築・組換えと優れた光学特性を特長とするモノクロメータ式分光器です。光源と組み合わせた波長可変単色光源や、検出器などと組み合わせた光学特性測定装置など、多様な用途に適用できます。
波長帯域に応じて UV（190～700 nm）、S（200～900 nm、S-REVは200～1100 nm）、IR（700～2500 nm）の3タイプがあります。
SPG-120-REV は高速波長駆動・高耐久の特長を持ち、蒸着装置やエッチング装置の終点検出などの組込みに最適です。
お客様のご用途に最適なシステム提案も可能ですので、お気軽にご相談ください。
基本システム
光源の持つ発光スペクトルに応じた波長可変単色光源を構築できます。
光検出器の分光感度特性や蛍光体の励起波長特性の評価に使用できます。
- キセノンランプ単色光源（185 nm ～）
- ハロゲンランプ単色光源（400 ～ 2500 nm）
光学特性（発光・透過・反射）を測定する分光分析システムを構築できます。
LEDなどの光源や蛍光体などの光機能材料の発光特性や、半導体材料やフィルタの透過特性の測定に使用できます。
測定対象によって3種の検出器を取り揃えています。
- 高感度なホトマルホルダ（200 ～ 900 nm）
- 安価で使いやすいホトダイオードホルダ（200 ～ 1100 nm）
- 赤外高感度な赤外検出器ユニット（500 ～ 1700 nm）
SPG-120シリーズ（一覧）
分光器の選び方
SPG-120シリーズの波長駆動の方法は、SPG-120を手動で設定する方法と、SPG-120やSPG-120-REVにオプションを組み合わせてPC制御する方法があります。装置への組込みには高速波長駆動・高耐久なSPG-120-REVがおすすめです。それぞれの概略構成は以下表をご参照ください。また波長帯域に応じてUV（190～700 nm）、S（200～900 nm、S-REVは200～1100 nm）、IR（700～2500 nm）の3タイプがあります。UVとSの効率は、300 nm程度で交差し、300 nm以下をメインで使われる場合はUVをお選びください。
スリットの選び方
スリット幅によってSPG-120シリーズの分解能（半値幅）と出力強度が決まります。100 μm、200 μm、500 μm、1 mm、2 mm（スリット高さ5 mm）の5種類あり、入出射ポートには同じ幅のスリットを使用します※。SPG-120シリーズのスリットごとの分解能は以下表を参照ください。なお、入出射スリットの幅を2分の1にすると光量はほぼ4分の1になります。
※異なるスリット幅の入出射スリットを選ぶと、分解能はスリット幅の大きい値とほぼ等しくなります。
出射光の拡がり角と大きさ
SPG-120シリーズの出射光の拡がり角は、スリットの垂直方向の拡がり角θz = 9.3（°）、水平方向の拡がり角θx = 5.6（°）です。 スリット高さ5（mm）、スリット幅A（mm）、スリットから距離L（mm）の位置での出射光像の大きさは以下計算式で算出できます。
像高さ H＝2Ltanθz+5（mm）
像幅 W＝2Ltanθx+A（mm）
例えば、スリット幅1 mmでスリットから距離100 mm離れた位置での像の大きさの計算値は、像高さ37.8 mm、像幅20.6 mmになります。
スリット幅A（mm）のスリットから距離L（mm）の位置での出射光像の大きさ
資料請求
（※クリックでメールソフトが起動します）
- カタログ（SPG-120シリーズ）
- 回折効率（RP31-1001、RP31-1033）
SPG-120S、IRにおける絶対回折効率を仕様の波長域で、P偏光、S偏光の偏光ごとに測定した例を示します。 - 出力強度（HR41-7002、RP31-1042、RP31-1002、RP31-1034）
SPG-120シリーズを各種光源と組合せた場合の光の出力強度を測定した例を示します。 - F値（RP31-1003A）
F値は波長により変化し、また入射ポート側と出射ポート側で値が異なります。SPG-120シリーズのF値の特性を示します。 - 逆線分散（RP31-1004A）
逆線分散は波長により変化し、また入射ポート側と出射ポート側で値が異なります。SPG-120シリーズの逆線分散の特性を示します。 - 分光感度測定（HR41-7023）
単色光源、強度モニタ付きファイバホルダを組合せ、市販のパワーメータを利用する事で分光感度の特性を簡便に測定できます。キセノンランプを用いて、太陽電池（多結晶シリコン）の分光感度を測定する例を示します。 - 波長移動時間の比較（HR41-7030）
SPG-120と波長駆動装置AT-120PLMの構成とSPG-120-REVの構成について、波長移動時間を比較した結果を示します。