2026年9月25日 | News & Notices 不等溝深さ回折格子の工法を確立
島津製作所は2026年9月25日に真空紫外・軟X線の広い波長領域で高い回折効率を実現可能な不等溝深さ回折格子 (Varied Groove Depth Gratings, VGDG)* の工法を確立し、特注対応を開始します。
不等溝深さ回折格子は、格子溝方向に沿って溝深さを連続的に変化させた回折格子です。取り出す波長に応じて照射位置を動的に調整することで、溝深さが一定の回折格子と比べて広い波長領域で高効率の回折光が得られます。これにより光利用効率が向上し、SN比向上に寄与します。不要な高次回折光を低減させる調整も可能であり、1枚の回折格子で幅広い使用条件に対応します。
Varied Line Spacing（VLS）設計との組み合わせも可能です。ご希望の仕様をご相談ください。
*可変溝深さ回折格子（Variable Groove Depth Gratings）と呼ばれることもあります。