真空紫外・軟X線の
広い波長領域で
高い回折効率を実現
Varied Groove Depth Gratings (VGDG)
ホログラフィック露光法による低迷光はそのままに、照射位置に応じて回折効率を調整可能な回折格子です。
不等溝深さ回折格子（Varied Groove Depth Gratings）は可変溝深さ回折格子（Variable Groove Depth Gratings）と呼ばれることもあります。
特長
- 広い波長領域で高い回折効率
- 不要な高次回折光を低減
- 1枚の回折格子で幅広い使用条件に対応可能
不等溝深さ回折格子は格子溝方向に溝深さを連続的に変化させています。照射位置を調整することで、最適な回折効率で使用できます。
詳しい解説と製作事例はカタログをご参照ください。
特注対応
- ご要望に応じた溝深さプロファイルを提案します。
- Varied Line Spacing (VLS) 設計との組み合わせが可能です。
- ご指定の基板（シリコンや合成石英など）に直接刻印します。
用途例
放射光施設、高次高調波研究
関連製品
本製品は「ラミナー型回折格子（真空紫外・軟X線領域用）」の溝深さに勾配を持たせた製品です。
溝本数やコーティングのオプションについては以下リンクをご参照ください。
