2026年3月25～28日、中国・上海にて、半導体製造装置の国際展示会であるSEMICON China 2026が開催され、ターボ分子ポンプ、リークディテクタ、分析装置等が展示されました。
その模様がSHIMADZU TODAYに掲載されています。
●半導体産業の国際展示会SEMICON Chinaに出展
SEMIは半導体製造・サプライチェーン分野の業界団体で、「連携・標準化・市場情報提供・人材育成」等の活動を行っています。
SEMICONはSEMIが開催する国際展示会で、世界8地域（韓国・中国・東南アジア・台湾・インド・米国・欧州・日本）で毎年開催されています。
SEMICONはSEMIが開催する国際展示会で、世界8地域（韓国・中国・東南アジア・台湾・インド・米国・欧州・日本）で毎年開催されています。
SEMICON China 島津展示ブース
ターボ分子ポンプとリークデティクタが並んで展示されました。
ターボ分子ポンプ（左側）は、エッチング、成膜、露光、イオン注入等の半導体製造プロセスの真空排気に使われています。
リークディテクタ（右側）は、製造装置や、流量計、配管、接手等の部品の漏れ検査に使われています。