半導体産業の国際展示会Semicon Chinaに出展

島津グループの島津企業管理（中国）有限公司は、半導体関連の世界最大級の国際展示会Semicon Chinaに出展し、半導体製造に貢献する当社の真空技術、分析技術、各種製品を紹介しました。

Semicon China 2026の島津ブース（3月25日～27日に開催）

Semicon Chinaは、半導体製造の全工程に関わる機器、設備品などが一堂に集まる展示会で、中国上海の上海新国際博覧中心（Shanghai New International Expo Centre）で毎年行われています。今年は出展社数が約1,500社、来場者数は20万人にのぼりました。会期中には20を超える会議やイベントも同時開催されました。 

半導体製造装置の多くの工程を支える

島津ブースには、半導体製造装置内を高真空にするターボ分子ポンプ（TMP-2814）とリークディテクタ（MSE-2600シリーズ）、洗浄工程で必要な超純水の汚れを監視するオンラインTOC計（TOC-1000e S）、品質管理に用いるガスクロマトグラフ質量分析装置（GCMS-QP2020 NX）を展示しました。 多くのお客様の訪問があり、商談や各種相談で熱気に包まれました。

 
島津ブースに並ぶGCMS-QP2020 NX（左）、TMP-2814（中央左）とMSE-2600シリーズ（中央右）、TOC-1000e S（右端）

会期中には、半導体業界の専門家や関連企業の代表者を迎え、「半導体業界ソリューション技術交流会およびTOC-1000e S新製品発表会」を開催しました。半導体製造プロセス全体に対してターボ分子ポンプ（TMP）など産業機器だけでなく、TOC計など計測機器を提供できる島津のソリューションを詳しく解説しました。半導体業界の技術革新と発展の動向についての意見交換も活発に行われました。 

世界トップクラスのシェアを誇る島津のTMP

TMPは、吸気口に入ってきた気体分子をロータ翼の高速回転によって弾き飛ばし、排気口から排出することで高真空にする製品です。半導体の微細構造を形成するエッチング工程をはじめ、半導体製造装置に不可欠です。

超純水のオンライン監視に特化した「TOC-1000e S」

また、超純水用オンラインTOC計「TOC-1000e S」は、水の汚れである有機物を有機体炭素量として測定する分析装置です。半導体製造では、エッチングや研磨工程など多くの工程でシリコンウェハーを何度も何度も洗浄し、大量の水を使用します。その水は、不純物を極限まで取り除いた「超純水」でなければ、回路パターンの欠陥や歩留まり低下を引き起こしてしまいます。

 
半導体業界の専門家や関連企業を迎えた場で、TOC-1000e Sの除幕式を行った 

近年、半導体の微細化に伴い、洗浄水の純度に対する要求はさらに厳しくなってきています。当社は、独自の測定アルゴリズムを用い、より高感度に検出する装置として「TOC-1000e S」を発売しました。TOC濃度1ppb以下の超純水を安定して測定でき、半導体業界が求める厳格な水質への要求に対応します。この高い検出能力と応答性により、製造工程における歩留まりの改善に大きく貢献できるとして多くの期待をいただきました。

当社のTOC計は、以前から半導体分野だけでなく、環境調査、排水の監視、水道水や医薬品製造用水などの品質管理などに用いられてきました。当社は、長年にわたり培ってきた技術で、最先端半導体の製造プロセスに一層貢献していきます。 

Semicon China2026の出展を担当した島津企業管理（中国）有限公司のメンバー 

島津企業管理（中国）有限公司の蔡健偉（Cai Jianwei）のコメント